[发明专利]硅化合物、缩合物和使用了其的抗蚀剂组合物、以及使用其的图案形成方法

权利要求书

1.一种硅化合物，其由通式(1)表示：

R¹_nA_mSiB_4-(n+m)    (1)

式(1)中，R¹分别独立地为氢原子、碳原子数1~20的直链状的烃基、碳原子数3~20的支链或环状的烃基，该烃基的碳原子也可以被氧原子置换，还可以包含氟原子，

A为酸分解性基团，

B为水解基团，

n为0~2的整数，m为1~3的整数，n+m为1~3的整数。

2.根据权利要求1所述的硅化合物，其中，至少一个A为通式(2-1)表示的基团，

式(2-1)中，D分别独立地为单键或可以具有酯键、尿烷键或酰胺键的二价的有机基团，

E^-分别独立地为通式(3-1)、通式(3-2)、通式(3-3)或者通式(3-4)表示的基团，

式(3-1)中，R²分别独立地为氟原子或碳原子数1~10的含氟烷基，p为1~2的整数，

式(3-2)中，R³分别独立地为氟原子或碳原子数1~10的含氟烷基，

式(3-3)中，R⁶和R⁷分别独立地为碳原子数1~10的含氟烷基，

式(3-4)中，R⁸分别独立地为碳原子数1~10的含氟烷基。

3.根据权利要求1或2所述的硅化合物，其中，至少一个A为通式(2-1)表示的基团，

式(2-1)中，D分别独立地为单键或可以具有酯键、尿烷键或酰胺键的二价的有机基团，

E^-分别独立地为式(3-5)、式(3-6)、式(3-7)或者式(3-8)表示的基团，

式(3-7)中，r为1~3的整数，

4.根据权利要求1所述的硅化合物，其中，至少一个A为通式(2-2)表示的基团，

式(2-2)中，D分别独立地为单键或可以具有酯键、尿烷键或酰胺键的二价的基团，

E^-分别独立地为通式(3-1)、通式(3-2)、通式(3-3)、通式(3-4)、式(3-5)、式(3-6)、式(3-7)或者式(3-8)表示的基团，

式(3-1)中，R²分别独立地为氟原子或碳原子数1~10的含氟烷基，p为1~2的整数，

式(3-2)中，R³分别独立地为氟原子或碳原子数1~10的含氟烷基，

式(3-3)中，R⁶和R⁷分别独立地为碳原子数1~10的含氟烷基，

式(3-4)中，R⁸分别独立地为碳原子数1~10的含氟烷基，

式(3-7)中，r为1~3的整数，

G⁺分别独立地为式(4-1)表示的锍阳离子或者式(4-2)表示的碘鎓阳离子，

式(4-1)中，R⁹~R¹¹分别独立地为碳原子数1~20的直链状的烷基或碳原子数3~10的支链状或环状的烷基、碳原子数1~20的直链状的烯基或碳原子数3~10的支链状或环状的烯基、碳原子数6~20的芳基或碳原子数7~20的芳烷基，该烃基中的碳原子也可以被氧原子置换，R⁹~R¹¹中的两个以上也可以键合而形成环状结构，

式(4-2)中，R¹²和R¹³分别独立地为碳原子数1~20的直链状的烷基或碳原子数3~10的支链状或环状的烷基、碳原子数1~20的直链状的烯基或碳原子数3~10的支链状或环状的烯基、碳原子数6~20的芳基或碳原子数7~20的芳烷基，该烃基中的碳原子也可以被氧原子置换，R¹²和R¹³也可以键合而形成环状结构。