[发明专利]关于IGBT堆叠结构结壳热阻的简化算法在审
申请号: | 201210482570.X | 申请日: | 2012-11-22 |
公开(公告)号: | CN103839901A | 公开(公告)日: | 2014-06-04 |
发明(设计)人: | 程士东;盛况;谷彤;郭清;张军明 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L23/36 | 分类号: | H01L23/36;H01L23/373 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人: | 王梨华;陈丽霞 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 关于 igbt 堆叠 结构 结壳热阻 简化 算法 | ||
技术领域
本发明涉及一种IGBT堆叠结构结壳热阻的简化算法。
技术背景
IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor),绝缘栅双极型晶体管,是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。
IGBT堆叠结构的结壳热阻是电力电子模块的重要参量,在IGBT堆叠结构中,热源是芯片。从芯片层开始热流流经上层焊锡层(芯片与DBC连接焊锡层)、DBC上层金属层、DBC陶瓷层、DBC下层金属层、下层焊锡层(DBC与基板连接焊锡层)和焊锡层六层。热流流经以上基层便在芯片上表面(结)和基板下表面(壳)的温度差。而根据公式Δt=Rth·P,式中Δt是温度差,Rth是模块热阻,P是芯片的功率。当芯片功率一定时决定结壳温度差的就是热阻。对于热阻的算法比较精确的方法是通过有限元和热力学知识算出,计算机仿真就是通过这种方式的出IGBT模块的结壳热阻值。然而这种方法较为复杂,不适合我们很快的估算热阻值。工程上常用热源的传递角度是45°来近似估算,这样估算的结果往往误差较大。因为热流的传递角度和诸多因素有关:材料的导热系数、材料层的厚度以及芯片的尺寸。
发明内容
本发明针对现有技术中的不足,提供了一种IGBT堆叠结构结壳热阻的简化算法。
为了解决上述技术问题,本发明通过下述技术方案得以解决:
关于IGBT堆叠结构结壳热阻的简化算法,IGBT堆叠结构共有七层材料, 包括芯片层,上层焊锡层,DBC上层金属层,DBC陶瓷层,DBC下层金属层,下层焊锡层,基板层,总热阻为这七种材料的热阻串联之和,表述如下,
总热阻
Rth_total=Rth_chip+Rth_soder1+Rth_DBC_me1+Rth_DBC_ci+Rth_DBC_me2+Rth_soder2+Rth_base
其中,Rth_total为堆叠结构的总的结壳热阻,Rth_chip为芯片层热阻,Rth_soder1为上层焊锡层热阻,Rth_DBC_me1为DBC上层金属层热阻,DBC的金属层为铝或铜,Rth_DBC_ci为DBC陶瓷层热阻,DBC陶瓷为氧化铝或氮化铝或氮化硅,Rth_DBC_me2为DBC下层金属层热阻,与上层金属层相同,Rth_soder2为下层焊锡层热阻,Rth_base为基板层热阻,基板为铜为铝碳化硅;从芯片产生的热流可以近似为扩散式的往下面各层传递。
每层材料的热阻计算如下,
其中,Rth为某一层的热阻,λ为该层材料的导热系数,对于堆叠模块由于芯片一般都是矩形的,所以热量的传递是自上而下以类似于梯台型的方式向下传递,length为热源传递到该层上表面横向上的长度,width为热源传递到该上表面纵向上的宽度,a为热流在该层横向上的传递角度,β为热源在该层纵向上的传递角度。
IGBT堆叠模块DBC的金属层常有铝和铜两种金属,DBC陶瓷常有氧化铝、氮化铝和氮化硅三种材料,模块的基板常有铜和铝碳化硅两种材料。那么,关于IGBT模块中的材料就有12中组合,对其分类如附表1。针对这十二种组合就对应了十二组的算法,这样就区别了由于材料的不同所带来的误差。根据本发明的算法计算出的热阻值误差可以限制在10%之内,完全可以用于工程应用。
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