[发明专利]一种可延长接触时间的微冲击开关及其制备方法有效
| 申请号： | 201210482969.8 | 申请日： | 2012-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102938350A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 张威;苏卫国;邓康发;李宋;周浩楠 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01H35/14 | 分类号： | H01H35/14;H01H11/00 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11360 | 代理人： | 张肖琪 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可延长 接触 时间 冲击 开关 及其 制备 方法 | ||
1.一种微冲击开关，其特征在于，所述微冲击开关包括：可动电极（1）和固定电极（2）；所述可动电极（1）进一步包括质量块（11）、质量块弹簧（12）、第一锚点（13）和触点（14），所述可动电极（1）通过第一锚点（13）键合在衬底上，使得所述质量块（11）和质量块弹簧（12）悬空，在所述质量块（11）的前端设置有突出的触点（14）；所述固定电极（2）包括第二锚点（23）和悬臂梁（21），所述固定电极（2）通过第二锚点（23）键合在衬底上，所述固定电极（2）与触点（14）的接触面为悬臂梁（21），所述悬臂梁（21）的一端固定在第二锚点（23）上，另一端悬空。
2.如权利要求1所述的微冲击开关，其特征在于，所述固定电极（2）与触点（14）的接触面为成对的悬臂梁（21），两个第二锚点（23）分别位于固定电极（2）的侧面的两端，成对的悬臂梁（21）位于中心的一端悬空，另一端分别固定在两个第二锚点（23）上，为对称的结构。
3.如权利要求2所述的微冲击开关，其特征在于，所述固定电极（2）与触点（14）的接触面为多对的悬臂梁（21）。
4.如权利要求1所述的微冲击开关，其特征在于，所述质量块（11）的前端设置有触点弹簧（15）。
5.如权利要求1所述的微冲击开关，其特征在于，所述质量块弹簧（12）为碟形弹簧、环形弹簧、蛇形弹簧和悬臂板弹簧中的一种。
6.如权利要求4所述的微冲击开关，其特征在于，所述触点弹簧（15）为碟形弹簧、环形弹簧、蛇形弹簧和悬臂板弹簧中的一种。
7.一种权利要求1所述的微冲击开关的制备方法，其特征在于，所述制备方法，包括以下步骤：
1）采用MEMS技术在半导体材料构成的晶片上制作第一锚点和第二锚点；
2）将第一锚点和第二锚点与衬底键合；
3）采用MEMS技术在半导体材料构成的晶片上光刻刻蚀加工质量块、触点、质量块弹簧和悬臂梁；
4）在正面镀金属膜，以形成固定电极和可动电极的导通。
8.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，在步骤3）中，还包括光刻刻蚀加工触点弹簧。
9.如权利要求7所述的制备方法，其特征在于，在步骤3）中，光刻刻蚀加工多对悬臂梁。
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