[发明专利]一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法

权利要求书

1.一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法，其特征在于：采用纳米压印的方法，包括如下步骤：

步骤一、制备压印图形母版，采用电子束直写在硅基板上制备纳米尺寸图形结构，获得纳米压印图形母版；所述纳米尺寸的图形根据模拟LED照明光场的优化结果设定；

步骤二、翻印模板，根据步骤一中的压印图形母版翻印模板；

步骤三、蓝宝石基板制作并涂胶，在蓝宝石基板上旋涂一层光刻涂胶或热压胶；

步骤四、模板压印，压印机把步骤二中的翻印模板压到步骤三中蓝宝石基片上的光刻涂胶或热压胶上，使涂胶或热压胶充满翻印模板的凹陷图案内；

步骤五、图形转移，将上述步骤四中经压印处理后的纳米压印模板与蓝宝石衬底分离，蓝宝石衬底表面的光刻胶或热压胶上得到所需的图案；

步骤六、最终处理，通过电感耦合等离子体刻蚀或者反应离子束刻蚀，再经过去胶、腐蚀、清洗、烘干处理，得到最终的蓝宝石图形衬底。

2.根据权利要求1所述的一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法，其特征在于：所述步骤二的翻印模板为硬模板或软模板。

3.根据权利要求2所述的一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法，其特征在于：所述蓝宝石衬底的图案为半球形、柱状、圆孔型、六边形、金字塔型、V字型、脊型、连续网状结构或者光子晶体结构。

4.根据权利要求3所述的一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法，其特征在于：所述步骤四中的模板压印可采用热纳米压印或紫外纳米压印。

5.根据权利要求4所述的一种利用纳米压印技术快速制备蓝宝石图形衬底的方法，其特征在于：所述步骤五中的图形转移采用ICP刻蚀或RIE刻蚀方法。