[发明专利]Y型波导激光直写装置无效
| 申请号： | 201210485868.6 | 申请日： | 2012-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN102981373A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张海波;袁志军;周军;楼祺洪;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 波导 激光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种Y型波导激光直写装置，其特征在于该装置由激光器（1）、第一柱透镜（2）、第二柱透镜（3）、导轨（4）、载物台（5）和光学玻璃（6）组成，上述各元部件的位置关系如下：
所述的第一柱透镜（2）和第二柱透镜（3）的棱的方向相互垂直，所述的激光器（1）输出的激光入射到第一柱透镜（2），光束传输到位于第一柱透镜（2）的一倍焦距内的第二柱透镜（3），第二柱透镜（3）固定在导轨（4）上并可沿着光束平行方向自由移动，聚焦光束入射到位于载物台（4）上的光学玻璃（5）。
2.根据权利要求1所述的Y型波导激光直写装置，其特征在于所述的激光器（1）是具有高脉冲能量和高光子能量的准分子激光器、倍频YAG激光器或飞秒激光器。
3.根据权利要求1所述的Y型波导激光直写装置，其特征在于所述的第一柱透镜（2）和第二柱透镜（3）为熔融石英或氟化钙晶体材料加工而成的正透镜。
4.根据权利要求1所述的Y型波导激光直写装置，其特征在于所述的导轨（4）的运动的轴向与光束方向平行。
5.根据权利要求1所述的Y型波导激光直写装置，其特征在于所述的载物台（5）为三维可调的平台。
6.根据权利要求1所述的Y型波导激光直写装置，其特征在于所述的光学玻璃（6）为熔融石英或石英玻璃。
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