[发明专利]复合式校准标样及校准方法

权利要求书

1.一种复合式校准标样，其特征在于，包括基体，所述基体具有上端面和下端面，所述下端面为安装底面，所述上端面为测试端面，所述测试端面设置有两级或两级以上的台阶，所述台阶上设置水平的台阶面，所述台阶面上设置标准格栅或标准表面粗糙度。

2.根据权利要求1所述的复合式校准标样，其特征在于，所述台阶面相互之间的高度差大于0.1微米。

3.根据权利要求1所述的复合式校准标样，其特征在于，所述台阶面包括第一台阶面和第二台阶面，所述第一台阶面和第二台阶面上分别设置标准格栅。

4.根据权利要求3所述的复合式校准标样，其特征在于，所述第二台阶面上还设置有标准表面粗糙度。

5.根据权利要求3所述的复合式校准标样，其特征在于，所述台阶面还包括第三台阶面，所述第三台阶面上设置标准表面粗糙度。

6.根据权利要求1至5任一项所述的复合式校准标样，其特征在于，还包括镀膜层和导电粘合层，所述镀膜层设置于所述基体的测试端面上，所述导电粘合层与所述安装底面相配合安装连接。

7.根据权利要求6所述的复合式校准标样，其特征在于，所述镀膜层为金属铬薄膜层，所述基体为二氧化硅或单晶硅，所述导电粘合层为碳材料导电胶。

8.一种扫描电镜的校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

放入复合式校准标样，电子束对测试端面上的台阶面的表面进行物理撞击，散射或反射出的各种二次电子通过二次电子探测传感器收集，处理后得到图像并重构测量进行对比校准，调整高精度倾斜工作台，电子束与测试端面上的另一台阶面的表面进行物理撞击，散射或反射出的各种二次电子通过二次电子探测传感器收集，处理后得到图像并重构测量进行对比校准。