[发明专利]一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，属于测量技术领域。

背景技术

在真空计量或者压力计量领域，由于标准装置搬运不方便，通常采用传递标准的方式开展标准装置之间的量值比对工作，传递标准的测量不确定度会对比对结果带来较大影响。如果不通过传递标准而将标准装置直接连接起来进行比对，保证建立的标准压力不随时间变化，这将会降低测量结果的测量不确定度，但是，由于装置各自配备的进气系统和抽气系统的相互影响，将装置直接连接起来在装置之间同时建立相同的压力显然是不可能的。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，所述方法采用零点指示器解决了真空或压力标准装置之间量值比对的同时性问题，消除了比对时候装置之间的相互影响，测量不确定度小。且方法简单，实现了校准装置之间的直接比对。

本发明的目的由以下技术方案实现：

一种真空或压力标准装置之间量值比对的方法，所述方法采用的装置包括：第一抽气系统、第一真空阀门、第一真空或压力标准装置、第二真空阀门、第三真空阀门、零点指示器、第四真空阀门、第二真空或压力标准装置、第五真空阀门和第二抽气系统；

其中，第一抽气系统、第一真空阀门、第一真空或压力标准装置、第二真空阀门、零点指示器、第四真空阀门、第二真空或压力标准装置、第五真空阀门、第二抽气系统依次连接，第三真空阀门一端连接到第二真空阀门与零点指示器之间管路中，另一端连接到零点指示器与第四真空阀门之间管路中；

所述方法步骤如下：

初始状态：除第三真空阀门外的所有阀门均处于关闭状态；

（1）启动第一抽气系统和第二抽气系统，启动第一真空或压力标准装置和第二真空或压力标准装置，打开第一真空阀门、第四真空阀门和第五真空阀门，启动零点指示器至工作状态，对第一真空或压力标准装置、零点指示器和第二真空或压力标准装置及其连接管道抽气；

（2）当第一真空或压力标准装置和第二真空或压力标准装置抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置和第二真空或压力标准装置分别调零，并记录零点指示器的零点示值p₀；

（3）通过第二真空或压力标准装置的进气系统将其调节到目标压力点p_t，同时通过第一真空或压力标准装置的进气系统将其调节到与第二真空或压力标准装置相同的压力点；

（4）关闭第三真空阀门，打开第二真空阀门；

（5）微调第一真空或压力标准装置的进气系统，使得零点指示器的示值和步骤（2）中零点示值p₀有最小的偏离；

（6）记录第一真空或压力标准装置的示值p₃、零点指示器的示值p₆和第二真空或压力标准装置的示值p₈；

（7）重复步骤（3）～（6），共测量n组数据，其中n≥6；

（8）关闭第二真空阀门，打开第三真空阀门；

（9）关闭第一真空或压力标准装置的进气系统和第二真空或压力标准装置的进气系统，将第一真空或压力标准装置与第二真空或压力标准装置抽至本底压力；

（10）当第一真空或压力标准装置和第二真空或压力标准装置抽至本底压力时，对第一真空或压力标准装置和第二真空或压力标准装置分别调零，并记录零点指示器的零点示值p₀′；

（11）关闭第一真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门和第五真空阀门；

（12）关闭第一真空或压力标准装置、第二真空或压力标准装置和零点指示器；

（13）数据处理及判定：

①根据每组测量数据和公式（1）计算得到第一真空或压力标准装置的压力值(p₃)_predicted：

(_p3)_predicted ＝p₈-(p₆-(p₀+p₀′)/2)·CF    （1）

式中：p₈为第二真空或压力标准装置的压力示值；

p₆为零点指示器的示值；

(p₀+p₀′)/2为零点指示器的零点；

CF为零点指示器的校准系数；