[发明专利]用于位置确定设备的表面检测装置有效
| 申请号： | 201210492061.5 | 申请日： | 2006-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN102997843B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 若弗雷·麦克法兰;凯维恩·巴里·乔纳斯 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 高伟;陆弋 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 位置 确定 设备 表面 检测 装置 | ||
1.一种用于位置确定设备的表面检测装置，包括：
探测器本体；
具有检测工件的触针尖端的细长触针；
所述触针被可互换地连接到所述探测器本体并且被安装到所述探测器本体以用于纵向位移；
在所述探测器本体中用于测量所述纵向位移的设备；
所述触针尖端经受横向位移；
与所述可互换的触针相关联的传感器系统，用于测量所述尖端的所述横向位移。
2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其中，用于测量所述触针尖端的横向位移的所述传感器系统至少部分地位于所述可互换的触针中。
3.根据权利要求2所述的表面检测装置，其中，用于测量所述触针尖端的横向位移的所述传感器系统将光束沿着所述可互换的触针投射到所述传感器系统的检测器。
4.根据权利要求3所述的表面检测装置，其中，用于测量所述触针尖端的横向位移的所述传感器系统包括在所述触针尖端处或在所述触针尖端附近或连接到所述触针尖端的光学元件，以便经受所述触针尖端的横向位移；并且所述光束在所述传感器系统的所述光学元件与所述检测器之间投射。
5.根据权利要求3或4所述的表面检测装置，其中，用于测量所述触针尖端的横向位移的所述传感器系统的所述检测器位于所述探测器本体中。
6.根据权利要求3或4或5所述的表面检测装置，其中，在所述探测器本体中用于测量所述可互换的触针的所述纵向位移的设备包括投射到另外的检测器上的另外的光束。
7.根据权利要求6所述的表面检测装置，包括从公共光源得到两束光束的分光器。
8.根据权利要求1或2所述的表面检测装置，其中，在所述探测器本体中用于测量所述可互换的触针的所述纵向位移的设备包括投射到检测器上的光束。
9.根据前述权利要求中任一项所述的表面检测装置，其中，所述可互换的触针能够弯曲，以允许所述触针尖端的所述横向位移。
10.根据前述权利要求中任一项所述的表面检测装置，其中，所述触针被安装在可纵向移动的托架上。
11.根据权利要求10所述的表面检测装置，其中，所述托架被安装成用于在一对平行板簧或隔板上纵向运动。
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