[发明专利]钨钛靶材的制作方法

权利要求书

1.一种钨钛靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供钨钛合金粉末；

将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，对位于真空热压烧结模具边缘区域的钨钛合金粉末进行第一压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的边缘区域；

对整个钨钛合金粉末进行第二压实，以使钨钛合金粉末充分填充在真空热压烧结模具的各个区域；

将装填有钨钛合金粉末的真空热压烧结模具放入真空热压烧结炉中，进行真空热压烧结，以获得钨钛靶材坯料；

对钨钛靶材坯料进行机械加工，以获取钨钛靶材。

2.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤及第二压实步骤的次数至少为一次。

3.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤及第二压实步骤均是利用装模工具来进行。

4.根据权利要求3所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述第一压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的圆棒或材料为钛的方棒，所述第二压实步骤中所采用的装模工具为材料为钛的压块。

5.根据权利要求4所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，分批次地将所述钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中，每次将钨钛合金粉末装入真空热压烧结模具中之后均进行所述第一压实步骤及第二压实步骤。

6.根据权利要求5所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，每次装入钨钛合金粉末之后，先利用直径为10mm的圆棒进行第一压实步骤，所述第一压实步骤的次数为5次-8次，压力为30kg-50kg；然后，利用直径为30mm的圆棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；接着，利用尺寸为30*30mm的方棒进行第一压实步骤，第一压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg；进行第一压实之后，利用直径为100mm的压块进行第二压实步骤，第二压实步骤的次数为3次-5次，压力为30kg-50kg。

7.根据权利要求5所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，进行所述机械加工之前对钨钛靶材坯料进行线切割，以将钨钛靶材坯料至少分割为两个钨钛靶材坯料。

8.根据权利要求7所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述线切割为慢走丝高速线切割。

9.根据权利要求8所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述慢走丝高速线切割的工艺参数包括：主电源电压为3V，伺服电压为1V-2V，电源峰值电流为16A-19A，放电脉冲时间为6s-7s，休止脉冲时间为25s-28s，伺服速度为4mm/s-6mm/s。

10.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，真空热压烧结的工艺参数包括：首先，升温至1280℃-1330℃，升温速率为10℃/min-15℃/min；接着升温加压直至温度为1500℃-1650℃、压力为50t-70t，升温速率为5℃/min-8℃/min，加压速率为2t/min-4t/min；接着在保温条件下加压至130t-160t，加压速率为2t/min-4t/min；接着保温保压1h-3h。

11.根据权利要求1所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述机械加工包括磨削。

12.根据权利要求11所述的钨钛靶材的制作方法，其特征在于，所述机械加工还包括磨削加工之后的镀镍处理。