[发明专利]挥发性有机物的回收系统及其回收流程

权利要求书

1.一种挥发性有机物的回收系统，其特征在于，包括：

一热处理单元，包含有一上行加热炉及一邻设于所述上行加热炉的下行加热炉，所述上行加热炉与所述下行加热炉各自具有一上气室、一下气室及一位于所述上气室与所述下气室之间的烘箱；

一顶部进气单元，具有一制程气体产生室及一导气管路，所述导气管路的一端连接所述制程气体产生室，且所述导气管路的另一端分别与所述上行加热炉的所述上气室及所述下行加热炉的所述上气室相连接；

一引气单元，具有一第一引气管路及一第二引气管路，所述第一引气管路的一端分别与所述下行加热炉的所述上气室及所述导气管路相连接，且所述第一引气管路的另一端连接所述上行加热炉的所述烘箱，所述第二引气管路的一端连接所述上行加热炉的所述烘箱，且所述第二引气管路的另一端连接所述下行加热炉的所述烘箱；以及

一排气管路，所述排气管路与所述下行加热炉的所述烘箱相连接。

2.根据权利要求1所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，还包括一防治装置，所述排气管路的一端连接所述下行加热炉的所述烘箱，且所述排气管路的另一端连接所述防治装置。

3.根据权利要求1所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，所述上行加热炉的所述上气室与所述烘箱之间设有一第一上气帘部，所述上行加热炉的所述下气室与所述烘箱之间设有一第一下气帘部，且所述下行加热炉的所述上气室与所述烘箱之间设有一第二上气帘部，所述下行加热炉的所述下气室与所述烘箱之间设有一第二下气帘部。

4.根据权利要求3所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，所述导气管路包括一导入部及一分流部，所述导入部包含一导入管、第一过滤件及一第一驱动件，所述制程气体产生室连接于所述导入管的一端，所述第一过滤件接设于所述导入管的另一端，且所述第一驱动件邻设于所述第一过滤件，所述分流部的一端连接所述导入部，所述分流部的另一端分别与所述上行加热炉的所述第一上气帘部、所述下行加热炉的所述第二上气帘部及所述第一引气管路相连接。

5.根据权利要求4所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，所述第一引气管路包括一第一引气管、一引入管、一第二过滤件及一第二驱动件，所述第一引气管的一端通过所述第二驱动件与所述分流部及所述下行加热炉的所述第二上气帘部相连接，所述第一引气管的另一端通过所述引入管与所述上行加热炉的所述第一上气帘部相连接，所述第二过滤件及所述第二驱动件间隔地接设于所述引入管上。

6.根据权利要求5所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，所述第二引气管路包括一第二引气管、一第三驱动件及一第三过滤件，所述第二引气管的一端连接所述上行加热炉的所述烘箱，所述第二引气管的另一端连接所述下行加热炉的所述烘箱，所述第三驱动件及所述第三过滤件间隔地接设于所述第二引气管上。

7.根据权利要求5所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，还包括一底部进气单元，具有一空气供给装置及一空气管路，其中所述空气管路包括一空气导入部及一空气导出部，所述空气导入部的一端连接所述空气供给装置，所述空气导入部的另一端分别与所述上行加热炉的所述第一下气帘部及所述下行加热炉的所述第二下气帘部相连接，所述空气导出部的一端分别与所述上行加热炉的所述第一下气帘部及所述下行加热炉的所述第二下气帘部相连接，所述空气导出部的另一端连接所述引入管。

8.根据权利要求5所述的挥发性有机物的回收系统，其特征在于，还包括一底部进气单元，具有一空气供给装置及一空气管路，其中所述空气管路包括一空气导入部及一空气导出部，所述空气导入部的一端连接所述空气供给装置，所述空气导入部的另一端分别与所述上行加热炉的所述第一下气帘部及所述下行加热炉的所述第二下气帘部相连接，所述空气导出部的一端分别与所述上行加热炉的所述第一下气帘部及所述下行加热炉的所述第二下气帘部相连接，所述空气导出部的另一端连接所述排气管路。