[发明专利]大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统及抽气方法

权利要求书

1.大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其为不使用泵油作为直接工作介质的清洁抽气设备，包括设置在大型空间环境模拟器上分别通过高真空阀门与容器隔离的粗抽系统、磁悬浮分子泵系统和低温泵系统，粗抽系统包括若干套并联的粗抽机组，每套粗抽管路由用于半导体行业的无油干泵罗茨泵机组构成，粗抽系统与大型空间模拟器之间的管路上设置有真空测量装置，通过PLC及上位计算机对真空抽气全过程进行自动控制和测量以实现大型空间环境模拟器高真空的获得；其中，磁悬浮分子泵系统和低温泵系统与大型空间环境模拟器的连接管路上分别设置有真空阀门和真空测量装置，磁悬浮分子泵系统由半导体行业用的磁悬浮分子泵和无油干泵机组组成；低温泵系统采用制冷机低温泵作为主泵，其前级采用磁悬浮分子泵和无油干泵机组。

2.如权利要求1所述的大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其中，所述无油干泵均指抽真空设备泵腔内不含真空泵油，但轴承润滑仍需要油润滑的真空泵。

3.如权利要求1所述的大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其中，所述真空测量装置为真空规，测量范围根据使用需求不同采用不同种类的测量装置，范围10⁵Pa～5×10^-8Pa。

4.如权利要求1所述的大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其中，所述高真空阀门为可用于高真空环境下的任何种类阀门或具有隔断真空抽气设备与容器功能的隔断装置。

5.如权利要求1-4任一项所述的大型空间环境模拟器清洁真空抽气系统，其中，所述大型空间环境模拟器为容积为70m³以上的模拟器。

6.一种利用权利要求1-5任一项所述的真空抽气系统对大型空间环境模拟器清洁抽气工艺，包括以下步骤：

1）启动粗抽系统对容器抽气，在容器内压力降低到接近能够防止粗抽系统对容器可能造成油污染的最低压力值P₀时，停止粗抽系统对容器抽气；

2）预冷低温泵系统，使用无油干泵对低温泵泵腔进行抽气，在低温泵内压力降低到接近能够防止前级干泵对低温泵泵体可能造成油污染的最低压力值P₀时，启动分子泵对低温泵系统进行抽气，使低温泵泵体内压力达到低温泵的预冷压力值；

3）启动分子泵系统对容器抽气，以达到低温泵系统的启动压力，压力值根据不同低温泵系统的技术参数确定； 

4）启动低温泵系统对容器抽气，保持容器内压力低于6.65×10^-3 Pa至实验结束。

7.如权利要求6所述的方法，其中，整个抽气过程可全自动化控制。