[发明专利]激光气体分析仪无效

专利信息
申请号: 201210495946.0 申请日: 2012-11-28
公开(公告)号: CN103134772A 公开(公告)日: 2013-06-05
发明(设计)人: 平田隆昭;光本康彦;大山将也;蒲原敦彦;藤村直之;前田稔;杉山直;艾伦·考伊;朱捷 申请(专利权)人: 横河电机株式会社
主分类号: G01N21/39 分类号: G01N21/39
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 陈源;李铭
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 激光 气体 分析
【权利要求书】:

1.一种激光气体分析仪,包括:

波长可变激光器,其具有宽波长可变宽度;

分光模块,其构造为将所述波长可变激光器的输出光分成测量光和参考光;

第一气室,在其中引入待测量的气体,并且使所述测量光入射到其中;以及

数据处理器,其构造为基于与所述参考光相关的参考信号和与所述第一气室的输出光相关的吸收信号来获得待测量的气体中每一种气体的吸收光谱,并且构造为获得待测量的各种气体的浓度。

2.根据权利要求1所述的激光气体分析仪,

其中,所述数据处理器包括:

吸收线波长数据存储器,其构造为存储待测量的气体的吸收线波长数据;

波长校准器,将所述参考信号和所述吸收信号输入到该波长校准器中,该波长校准器连接至所述吸收线波长数据存储器,该波长校准器构造为基于所述吸收线波长数据、所述参考信号和所述吸收信号来校准所述吸收光谱的波长,并且构造为获得吸光度的吸收光谱;

吸收光谱数据存储器,其构造为存储待测量的气体的吸收光谱数据;

光谱分离器,所述吸光度的吸收光谱从所述波长校准器输入到该光谱分离器中,该光谱分离器连接至所述吸收光谱数据存储器,该光谱分离器构造为从所述吸光度的吸收光谱中分离出待测量的气体中每一种气体的吸光度的吸收光谱;

面积浓度比数据存储器,其构造为存储用于计算待测量的气体的吸收线的面积的波长范围数据,并且构造为存储该面积和气体分压的比例常数数据;以及

浓度检测器,将待测量的气体中的每一种气体的吸收光谱从所述光谱分离器输入到该浓度检测器中,该浓度检测器连接至所述面积浓度比数据存储器,该浓度检测器构造为获得指定波长范围的面积,并且构造为计算待测量的气体的分压。

3.根据权利要求2所述的激光气体分析仪,其中

所述波长校准器对波长校准气体的吸收线和已知的吸收线进行比较。

4.根据权利要求3所述的激光气体分析仪,其中

所述波长校准器使用多项式近似法来对所述波长校准气体的吸收线和已知的吸收线进行比较。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的激光气体分析仪,其中

密封有波长校准气体的第二气室的吸收率小于所述第一气室的吸收率。

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