[发明专利]手动式直接曝光装置的工作台保护装置

权利要求书

1.一种手动式直接曝光装置的工作台保护装置，

该手动式直接曝光装置使用于载置基板的基板工作台在用于装卸该基板的装卸部和用于对该基板进行曝光的曝光部之间移动，该工作台保护装置的特征在于，

上述装卸部朝上方敞口；

在该曝光装置的主体上支承有用于开闭上述装卸部的上部的卷帘的卷轴；

在与该卷轴相对的位置设有用于对从该卷帘拉出而覆盖上述装卸部的帘幕的前端进行卡定的卡定部；以及

该卷帘具有卷轴支承部。

2.根据权利要求1所述的手动式直接曝光装置的工作台保护装置，其中，

上述卷轴支承部固定于上述曝光部的外表面。

3.根据权利要求1所述的手动式直接曝光装置的工作台保护装置，其中，

上述卷轴支承部设置在比上述卡定部距离地面高的位置。

4.根据权利要求2所述的手动式直接曝光装置的工作台保护装置，其中，

上述卷轴支承部设置在比上述卡定部距离地面高的位置。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的手动式直接曝光装置的工作台保护装置，其中，

在上述卷帘的卷轴支承部上支承有除尘部件，该除尘部件位于卷绕于该卷轴支承部上的卷帘的表面侧和背面侧二者中的至少一面侧，并且与该卷帘相接触或与该卷帘相邻。

6.根据权利要求5所述的手动式直接曝光装置的工作台保护装置，其中，

上述卷轴支承部设置在卷帘单元的壳体的两侧壁上，该壳体固定于上述曝光部的外表面，在该壳体上形成有用于导出上述帘幕的狭缝。