[发明专利]一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法有效
| 申请号： | 201210497098.7 | 申请日： | 2012-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102936715A | 公开（公告）日： | 2013-02-20 |
| 发明（设计）人： | 黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 341000 江西省赣州*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 凝结 制备 前趋物 金属 薄膜 方法 | ||
1.一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10-2-0.9×10-2mtorr，用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10-50mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
2.一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10-2-0.9×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10-50 mtorr，基板热至80-100℃，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
3.一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铜铟薄膜(60%In-40%Cu)时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10-2-0.9×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10-20 mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铜铟薄膜。
4.一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铜铟镓薄膜(50% Cu-35%In-15% Ga)时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.7×10-2-0.9×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为10-20 mtorr，以直流功率70-150瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铜铟镓薄膜。
5.如权利要求1所述的一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.8×10-2mtorr，用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为30mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
6.如权利要求2所述的一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铟金属薄膜时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.8×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为30 mtorr，基板热至90℃，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铟金属薄膜。
7.如权利要求3所述的一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铜铟薄膜(60%In-40%Cu)时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.8×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为15mtorr，以直流功率100瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铜铟薄膜。
8.如权利要求4所述的一种气相凝结制备前趋物金属薄膜的方法，其特征为：制备铜铟镓薄膜(50% Cu-35%In-15% Ga)时，把所需镀着玻璃基材放入溅镀腔体中，以真空抽气系统将溅镀腔体背景压力抽至0.8×10-2mtorr，利用氩气当作工作气体，透过节流阀将通入氩气控制溅镀腔体的工作压力为15 mtorr，以直流功率110瓦进行60分钟的溅镀制程，制得平坦化铜铟镓薄膜。
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