[发明专利]磨片机研磨盘下砂口的改良构造有效
| 申请号： | 201210499518.5 | 申请日： | 2012-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102950539A | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 李海龙;张雪囡;苏荣义;陈宗永;郭红慧;陈强;邢玉军 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李莉华 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磨片机 研磨 盘下砂口 改良 构造 | ||
【权利要求书】：
1.一种磨片机研磨盘下砂口的改良构造，所述下砂口为垂直于水平面的通孔，位于所述研磨盘的上磨盘的磨盘基体内，所述上磨盘还包括位于所述磨盘基体下方且与所述磨盘基体下表面紧密贴合的磨盘面，所述磨盘面内部贯通有垂直于水平面的盘槽，其特征在于：所述下砂口的形状为圆锥形，且靠近所述磨盘面位置的内径小于远离所述磨盘面位置的内径，所述下砂口与所述磨盘面相贴处的内径与所述盘槽的宽度相等，所述下砂口正对所述盘槽。
2.根据权利要求1所述的改良构造，其特征在于：所述下砂口均匀排布于所述磨盘基体内。
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