[发明专利]模拟月尘环境的空间环境模拟器真空抽气系统和抽气方法

权利要求书

1.模拟月尘环境的空间环境模拟器的真空抽气系统，包括设置在模拟月尘环境的空间环境模拟器上方的粗抽泵组、分子泵机组和低温泵机组，实现高真空的获得与维持的分子泵机组和低温泵机组分别由高真空插板阀与容器进行隔离以避免来自容器内部月尘的污染，且在分子泵机组、低温泵机组与空间环境模拟器之间的管路上设置有真空测量装置，其中，粗抽泵组通过并联设置的主抽气管路和辅抽气管路分别与空间环境模拟器连通并由高真空插板阀进行隔离，粗抽泵组采用对月尘有一定抽气能力的泵组且在其与空间环境模拟器之间的管路上也设置有真空测量装置，主抽气管路和辅抽气管路上分别设置有能过滤2微米固体颗粒的过滤器和可调节阀门，且辅抽气管路能减小流导、控制气体流量，以有效控制抽速，防止抽气初期压力变化过快。

2.如权利要求1所述的真空抽气系统，其中，对月尘有一定抽气能力的泵组为干泵与罗茨泵的组合。

3.如权利要求1所述的真空抽气系统，其中，过滤器为装有含聚酯媒介颗粒纸制滤芯的过滤器。

4.如权利要求1-3任一项所述的真空抽气系统，其中，可调节阀门为手动阀门和/或电动阀门。

5.如权利要求1-3任一项所述的真空抽气系统，其中，每种泵组和机组都可通过PLC及上位计算机实现真空抽气全过程的自动控制和测量。

6.如权利要求1-3任一项所述的真空抽气系统，其中，真空测量装置可完成测量的压力范围为10⁵Pa～5×10^-7Pa，选用有抗污染能力的全量程冷规对模拟月尘环境的空间环境模拟器的真空度进行测量。

7.一种利用权利要求1-6任一项所述的真空抽气系统进行真空抽气的方法，包括以下步骤：

1）启动粗抽机组，先通过辅抽气管路降速抽气；

2）当真空度低于100Pa后，通过主抽气管路加速抽气；

3）当真空度达到2Pa时，稳定维持抽气至少1小时；

4）关闭粗抽泵组主辅抽气管路上的可调节阀门，停止粗抽，维持模拟月尘环境的空间环境模拟器内的真空状态，保压至少24小时；

5）保压后对月尘进行脱气处理，然后重新开始粗抽，当压力达到分子泵机组的启动压强后，分子泵机组启动，分子泵机组进行真空抽气直到达到低温泵机组的开启压力，由低温泵机组进行抽气至试验真空度≤4×10^-3Pa，维持该真空度直至试验结束。

8.如权利要求7所述的方法，其中，抽气时间和保压时间可根据月尘的装载量、干燥程度进行延长。

9.如权利要求7所述的方法，其中，整个抽气过程可全自动化控制。