[发明专利]掩模组件及使用其制造的有机发光二极管显示器有效
申请号: | 201210500922.X | 申请日: | 2012-11-29 |
公开(公告)号: | CN103137905B | 公开(公告)日: | 2017-08-11 |
发明(设计)人: | 李相信 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;C23C14/04;C23C16/04 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人: | 余朦,姚志远 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 模组 使用 制造 有机 发光二极管 显示器 | ||
技术领域
本发明涉及掩模组件。更具体地,本发明涉及用于薄膜沉积的掩模组件和使用其制造的有机发光二极管显示器。
背景技术
有机发光二极管显示器具有自发光特性,并且显示了高品质特性,例如低功耗、高亮度、高响应速度等。有机发光二极管显示器具有有机发光层设置在像素电极和公共电极之间且每个子像素包括像素电极和有机发光层的结构。
有机发光层由使用掩模组件的沉积方法形成。掩模组件包括具有与有机发光层对应的多个沉积开口的带形单元掩模和用于支撑单元掩模的框架。通过沿长度方向施加于单元掩模的拉力将单元掩模固定到框架上,由此防止了单元掩模因自重而产生的下垂。在制造大型有机发光二极管显示器时,这种分裂式掩模组件是有利的。
在背景技术部分所公开的上述信息,仅仅是为了加强对背景技术的理解,因此,其可能包括没有成为现有技术的信息,但是这些信息已经被本国的本领域普通技术人员所了解。
发明内容
本发明提供了可以提高有机发光层的沉积质量的掩模组件和使用其制造的有机发光二极管显示器。
本发明的示例性实施方式提供了一种掩模组件,包括:框架,包括开口;以及多个单元掩模,包括多个沉积开口,所述单元掩模的两个纵向端部固定到所述框架。所述多个单元掩模中的至少两个相邻的单元掩模具有形成在彼此面对的两侧上的沉积凹部;以及所述沉积凹部沿所述单元掩模的宽度方向的宽度不小于所述沉积开口沿所述单元掩模的所述宽度方向的宽度。
每个所述沉积开口可包括与所述单元掩模的所述宽度方向平行的长边和与所述单元掩模的长度方向平行的短边。沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积开口之间的间距可小于沿所述单元掩模的所述长度方向的所述沉积开口之间的间距。
所述沉积凹部可设置为沿所述单元掩模的所述宽度方向与所述多个沉积开口平行。在至少两个单元掩模中形成的两个沉积凹部可具有相同的形状和相同的尺寸且可被设置为沿所述单元掩模的所述宽度方向彼此平行。
所述沉积开口和所述沉积凹部可被倾斜的侧壁围绕,并且沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积凹部的一个侧壁的形状可与沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积开口的所述侧壁的形状相同。
每个所述单元掩模可包括面向沉积表面的一个表面和所述一个表面的相对表面,在所述一个表面上观察的所述沉积开口和沉积凹部的尺寸大于在所述相对表面上观察的所述沉积开口和沉积凹部的尺寸。
沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积凹部的宽度w1可满足下列条件:
w2<w1≤w2+d1/2
其中,w2表示沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积开口的宽度,d1表示沿所述单元掩模的所述宽度方向的所述沉积开口之间的间距。
所述多个沉积开口和所述沉积凹部可被设置在与所述框架的所述开口对应的区域中。
所述单元掩模可用于沉积与第一、第二和第三颜色的子像素对应的有机发光层,并且所述单元掩模可通过沿长度方向施加的拉力固定到所述框架,所述单元掩模可被设置为使所述拉力的方向与颜色相同的子像素的排列方向垂直。所述多个沉积开口和所述沉积凹部可被设置为与所述第一、第二和第三颜色中的任一颜色的子像素相对应。
本发明的一个示例性实施方式提供了一种有机发光二极管显示器,包括:均设置在衬底上的像素电极、有机发光层和公共电极;所述有机发光层包括:第一有机发光层,被设置为与一个子像素对应;以及第二有机发光层,被设置为跨越两个子像素。
所述有机发光层可实现多个不同颜色中的任一种颜色。颜色相同的有机发光层可沿第一方向成排地设置,颜色不同的有机发光层可沿与所述第一方向垂直的第二方向交替地设置。所述第二有机发光层的每个都可被设置为沿所述第一方向跨越两个相邻的子像素。
所述第二有机发光层的长度可大于所述第一有机发光层的长度的两倍。所述第二有机发光层沿所述第一方向的长度L2可通过以下公式表示:
L2=2L1+d3
其中,L1表示所述第一有机发光层沿所述第一方向的长度,d3表示沿所述第一方向的所述第一有机发光层之间的间距。
薄膜层可被设置在所述第二有机发光层沿所述第二方向的中央。
根据本示例性实施方式的掩模组件允许沉积开口的侧壁和沉积凹部的侧壁具有足够的倾斜度。因此,可以改进整个有机发光二极管显示器中的有机发光层的沉积质量。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择