[发明专利]一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法有效

专利信息
申请号: 201210505682.2 申请日: 2012-11-30
公开(公告)号: CN103855036A 公开(公告)日: 2014-06-11
发明(设计)人: 李桂华;金鸿 申请(专利权)人: 南京尚孚电子电路有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48
代理公司: 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 代理人: 金辉
地址: 210000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 多晶 cob 封装 镜面铝基板 制作方法
【权利要求书】:

1.一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)线路基板的制备;

(2)镜面铝的准备;

(3)假贴;

(4)排板;

(5)压合;

(6)二次钻基准孔;

(7)数控钻铣外形。

2.根据权利要求1所述的一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法,其特征在于:所述各步骤分别如下:

(1)线路基板的制备:

(a)开料:用电动剪床将单面覆铜板剪切成生产需要的尺寸规格;

(b)一次刷板:用单面刷板机,将覆铜板表面的氧化层抛刷掉,刷辊目数为500目;

(c)印湿膜:用丝网印刷的方法,在一次刷板后的覆铜板表面铜箔上均匀涂覆一层感光湿膜;

(d)一次预烘:将印好湿膜的覆铜板放置在烘箱中烘烤,烘烤温度70~80℃,时间为20~30分钟;

(e)一次曝光:将预先光绘好的线路底片覆盖在预烘后的覆铜板上,用8KW紫外曝光机曝光,能量设定值为350毫焦;

(f)一次显影:将一次曝光后的覆铜板经过显影机显影,显影液1%-3%无水碳酸钠,温度为 28~32℃,时间为1~2分钟,喷淋压力为1~5Kg/cm2

(g)检验:检测线路图形的完整性;

(h)蚀刻:用酸性氯化铜蚀刻液将没有被湿膜覆盖的铜层腐蚀掉,保留需要的线路铜箔,蚀刻液的条件:铜含量为140 ~ 180 g/l,酸量为2 ~ 3 N,氧化还原电位为450 ~ 550 mv,温度为49 ~ 54℃;

(i)去膜:用3%~5%的氢氧化钠溶液将蚀刻后的线路表面湿膜清除干净;

(j)二次刷板:用单面刷板机,将线路基板表面的氧化层抛刷掉,刷辊目数为500目;

(k)印阻焊白油:用丝网印刷的方法,在二次刷板后的线路基板表面均匀涂覆一层型号为太阳 PSR2000 CE800W的感光阻焊白油;

(l)二次预烘:将印好阻焊白油的的线路基板放置在烘箱中烘烤,烘烤温度70~80℃,时间为20~30分钟;

(m)二次曝光:将预先光绘好的阻焊底片,覆盖在二次预烘后的线路基板上,用8KW紫外曝光机曝光,能量设定值为950毫焦;

(n)二次显影:将二次曝光后的线路基板经过显影机显影,显影液1%~3%无水碳酸钠,温度为 28~32℃,时间为1~2分钟,喷淋压力为1~5Kg/cm2

(o)后固化:将二次显影后的线路基板放置于烘箱中烘烤,烘烤温度150℃,时间为60分钟;

(p)化学镍钯金:采用了安美特Universal ASF II 化学镍钯金体系,在打金线焊盘的表面镀覆一层合金镀层;

(q)压合胶膜假贴:采用胶辊热压工艺,将胶膜与线路层假贴合,假贴工艺条件:压力1~4Kg/cm,温度 80~120℃;

(r)一次钻基准孔:利用全自动影像打孔机先识别线路定位孔的图形,然后钻定位孔,孔径为2.0mm;

(s)固晶区铣内模:利用钻好的定位孔定位,线路基板在数控铣床上加工出所需的镜面裸露图形;

(t)胶膜预固化:将铣好内模槽的线路基板放置在烘箱中烘烤,烘烤温度60~80℃度,时间为20~40分钟;

(2)镜面铝的准备:采用了Mirro 2 silve 系列,其技术参数为全反射率>98%、漫反射率<5%;

(3)假贴:采用胶辊热压工艺,将步骤(2)准备的镜面铝板整平后与步骤(1)中制备的线路基板假贴合,假贴工艺条件:压力1~4Kg/cm,温度 80~120℃;

(4)排板:将基板、离型膜、胶垫、钢板等按一定顺序排列叠合;

(5)压合:在热压合机上,加热加压;

(6)二次钻基准孔:利用全自动影像打孔机先识别线路定位孔的图形,然后钻定位孔,孔径为2.0mm;

(7)数控钻铣外形。

3.根据权利要求1或2所述的一种多晶COB封装镜面铝基板的制作方法,其特征在于:所述步骤(1)中的步骤(a)~(o)的导电线路图形制作时,使用了放大的菲林底片,放大比例为万分之六到万分之十二,线路层为BT材质,其厚度为0.1mm,铜箔的厚度为35um。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京尚孚电子电路有限公司,未经南京尚孚电子电路有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210505682.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top