[发明专利]一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法有效
| 申请号： | 201210506895.7 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103049647A | 公开（公告）日： | 2013-04-17 |
| 发明（设计）人： | 华桦;周松敏;胡晓宁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 统计 平面 阵列 高度 数据 处理 方法 | ||
1.一种统计焦平面铟柱阵列高度数据的处理方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤一：利用激光共聚焦显微镜对焦平面表面进行扫描，获取并保存焦平面表面高度形貌数据矩阵Z=[zij]，其中zij指坐标位于x=i,y＝j处的高度数据，i，j的取值范围是[1,n]，n为采样密度，取值512或1024；
步骤二：生成高度数据矩阵Z对应的横坐标矩阵X＝[xij]，纵坐标矩阵Y＝[yij]，其中，矩阵元素满足xij＝j，yij=i；
步骤三：求出高度数据矩阵Z中元素的最大值zmax=max(zij)，最小值zmin=min(zij)，以指定的间隔Δz生成向量S＝[sh]，满足sh=zmin+(h-1)·Δz，其中间隔Δz设为0.1，h取整数1，2……|(zmax-zmin)/Δz；
步骤四：求解等高线坐标矩阵Csh
Csh=contour(Z,[sh sh]) (1)
式中，contour()为Matlab7.0中的函数，等高线坐标矩阵Csh具体表达式为：
式中，
步骤五：求解基本高度ZBasic处的等高线坐标矩阵Czbasic
Czbasic=contour(Z,[ZBasic ZBasic]) (3)
等高线坐标矩阵Czbasic具体表达式为：
以式中的ZBasic元素值为标记，分离出一系列的等高线坐标矩阵：
……；
步骤六：将式(5)记作：
式中，向量Xdata1，Ydata1为：
Xdata1=[xdata(1) xdata(2) ... xdata(dim1)] (9)
Ydata1=[ydata(1) ydata(2) ... ydata(dim1)] (10)
分别求出向量Xdata1，向量Ydata1中元素的最大值并取整得到Xdata1max和Ydata1max，分别求其最小值并取整得到Xdata1min和Ydata1min，生成横坐标向量X1s：
X1s＝[xdata1min xdata1min+1xdata1min+2 ... xdata1max] (11)
纵坐标向量Y1s：
U1s＝[ydata1min ydata1min+1ydata1min+2 ... ydata1max] (12)
求解[X1,Y1]：
[X1,Y1]＝meshgrid(X1s,Y1s) (13)
生成横坐标矩阵X1，纵坐标矩阵Y1，式(13)中meshgrid()为Matlab7.0中的函数；
步骤七：求出横坐标矩阵X1，纵坐标矩阵Y1对应的高度数据矩阵Z1=[z1kl]，Z1中元素满足z1kl=zkl，其中k，l为下标，且有：
xdata1min＜k＜xdata1max，ydata1min＜l＜ydata1max
利用步骤四中的方法求出矩阵Z1对应的“等高线数量—高度数据”关系曲线，利用该关系曲线，结合铟柱表面的形貌特点，选取曲线中第二个峰附近的等高线数量为1的指定位置的高度为单个铟柱的近似高度值ZApro1；
步骤八：求解单个铟柱近似高度值ZApro1处的Czapro1
Czaprv1=contour(Z1,[ZApro1 ZApro1]) (14)
式中Czaprol具体表达式为：
以式中的ZApro1值为标志，有且仅有一条等高线的坐标矩阵
求解单个铟柱高度height1：
height1=mean(z1pq) (17)
其中p，q为下标，满足xdata(1)＜p＜xdata(dim1)，ydata(1)＜q＜ydata(dim1)；
步骤九：对式(6)，式(7)……一系列的等高线坐标矩阵分别重复步骤六、七、八，得出相应的一系列铟柱高度值height1，height2，height3……，生成铟柱高度值向量H，
H＝[height1,height2,heitht3…] (18)
求解hist(H)，获得铟柱高度的统计直方图，其中hist()为Matlab7.0中的函数。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海技术物理研究所，未经中国科学院上海技术物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210506895.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带简易骨架的高尔夫球袋
- 下一篇：一种基于主动轮廓模型的路面裂缝检测方法
- 同类专利
- 专利分类
G06F 电数字数据处理
G06F19-00 专门适用于特定应用的数字计算或数据处理的设备或方法
G06F19-10 .生物信息学，即计算分子生物学中的遗传或蛋白质相关的数据处理方法或系统
G06F19-12 ..用于系统生物学的建模或仿真，例如：概率模型或动态模型，遗传基因管理网络，蛋白质交互作用网络或新陈代谢作用网络
G06F19-14 ..用于发展或进化的，例如：进化的保存区域决定或进化树结构
G06F19-16 ..用于分子结构的，例如：结构排序，结构或功能关系，蛋白质折叠，结构域拓扑，用结构数据的药靶，涉及二维或三维结构的
G06F19-18 ..用于功能性基因组学或蛋白质组学的，例如：基因型–表型关联，不均衡连接，种群遗传学，结合位置鉴定，变异发生，基因型或染色体组的注释，蛋白质相互作用或蛋白质核酸的相互作用
