[发明专利]一种高致密铬合金靶材的生产方法

权利要求书

1. 一种高致密铬合金靶材的生产方法，所述的铬合金为铬与选自镍、硅、钛、钴、铂中的一种或多种的合金，其特征在于：所述的生产方法包括依次进行的如下步骤：

（Ⅰ）、真空脱气：采用-200目、纯度为99.95wt%以上、氧含量为1000ppm以下的铬粉以及合金金属的粉体为原料，均匀混料后，将原料放入模具中，首先加压4~6MPa，然后在真空度保持为10^-3Pa以下的环境下，以250~400℃/h的加热速率加热至500~800℃，保温40~80min，充入氩气；

（Ⅱ）、阶段性升温加压：加压至9~12MPa，然后以150~250℃/h的加热速率加热至550~1100℃，保温40~80min；然后以90~110℃/h的加热速率加热至600~1400℃，保温40~80min，从1100℃开始，在温度上升的过程中温度每上升40~60℃增加1.5~2.5MPa压力，加热截止温度为1350~1500℃，直至压力为20~100MPa；

（Ⅲ）、保压炉冷：保持20~100MPa的压力，停止加热，靶材随炉冷；

（Ⅳ）、热锻：锻造温度为400~1200℃，变形率为0.1%/min~20%/min；

（Ⅴ）、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火；

（Ⅵ）、热轧：采取单向式、交叉式或旋转式的热扎方式，轧制的道次变形率为2%~20%；

（Ⅶ）、退火：在300℃～700℃温度下保温3～5小时进行去应力退火；

（Ⅷ）、机加工获得铬合金靶材成品。

2. 根据权利要求1所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（I）中的加热速率为290~310℃/h。

3. 根据权利要求1所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（Ⅱ）中，第一次加热的加热速率为190~210℃/h。

4. 根据权利要求1所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（Ⅱ）中，第二次加热的加热速率为95~105℃/h。

5. 根据权利要求1或3或4所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（Ⅱ）中，从1100℃开始，温度每上升50℃增加2MPa的压力。

6. 根据权利要求1所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（Ⅱ）中，最终压力为20~40MPa。

7. 根据权利要求1所述的高致密铬合金靶材的生产方法，其特征在于：步骤（Ⅵ）中，热轧温度为900~1400℃。

8. 一种高致密铬合金靶材，其特征在于：其由权利要求1至7中任一项权利要求所述的生产方法生产得到，所述铬合金靶材的氧含量小于1000ppm，相对密度大于99%，纯度大于99.9wt%。