[发明专利]窄线宽准分子激光器无效
| 申请号： | 201210507225.7 | 申请日： | 2012-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN102983485A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 袁志军;张海波;周军;楼祺洪;魏运荣 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | H01S3/08 | 分类号： | H01S3/08;H01S3/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 窄线宽 准分子激光 | ||
【权利要求书】：
1.一种窄线宽准分子激光器，其特征在于该激光器由棱镜扩束系统（1）、紫外光栅（2）、紫外标准具（3）、放电腔(4)和耦合输出镜(5)组成，上述各部分的位置关系如下：
准分子激光在放电腔内(4)受到激励，经棱镜扩束系统(1)和紫外光栅(2)进行线宽压窄，窄线宽激光在紫外光栅(2)和输出耦合镜(5)为腔镜的谐振腔内振荡放大后，从所述的输出耦合镜(5)方向经垂直于光路放置的紫外标准具（3）输出，所述的紫外光栅(2)的激光入射角与其衍射角相同。
2.根据权利要求1所述的窄线宽准分子激光器，其特征在于所述的棱镜扩束系统(1)由二个或三个棱镜组成。
3.根据权利要求1所述的窄线宽准分子激光器，其特征在于所述的棱镜扩束系统(1)的棱镜材料为紫外融石英或者氟化钙，各个棱镜的入射角度为68°~74°。
4.根据权利要求1所述的窄线宽准分子激光器，其特征在于所述的紫外光栅(2)为中阶梯光栅，紫外光栅的衍射角为71°~82°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院上海光学精密机械研究所，未经中国科学院上海光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210507225.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
