[发明专利]一种移动式密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造工艺领域，具体涉及一种移动式密封装置。

背景技术

随着半导体工艺设备的发展，对集成电路硅片的清洗制造工艺要求也越来越高。在集成电路清洗工艺过程中，对于工艺腔室内部的微环境有较高的要求，为了保证一个良好的内部微环境，需要对硅片周围的工艺腔室进行密封，以使硅片与周围的环境进行隔绝。但是同时，在机械手对硅片进行抓取与放置的过程中，又不可避免的会使工艺腔室与外部环境连通。为使硅片在清洗的过程中尽可能的减小外部环境对其的影响，在硅片放置完毕后，应该对工艺腔室进行及时的密封，以保证工艺腔室的工艺要求。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明的目的在于提供一种在机械手进入工艺腔室中对硅片进行抓取与放置并退出工艺腔室之后，能够及时对工艺腔室进行密封的移动式密封装置。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种移动式密封装置，该密封装置包括：移动式密封板、驱动装置、导轨和导轨滑块；所述导轨与导轨滑块连接；所述移动式密封板一端与导轨滑块连接，另一端与驱动装置连接。

进一步，所述驱动装置为气缸。

再进一步，所述气缸上设有能够上下移动的滑块。

其中，该密封装置还包括连接件；所述移动式密封板通过连接件与气缸的滑块连接。

其中，该密封装置还包括驱动装置保护罩，所述驱动装置位于所述驱动装置保护罩内。

进一步，所述驱动装置保护罩为电动执行器保护罩。

其中，所述电动执行器保护罩采用无尘防腐蚀的非金属材料。

其中，所述电动执行器保护罩一侧开有长凹槽，另一侧开有第一短凹槽和第二短凹槽。

其中，该密封装置还包括位置控制装置；所述位置控制装置安装在驱动装置保护罩内。

进一步，所述位置控制装置包括第一限位传感器和第二限位传感器，所述第一限位传感器和第二限位传感器分别安装在电动执行器保护罩的第一短凹槽和第二短凹槽中。

（三）有益效果

本发明提供的移动式密封装置安装在工艺腔室开口处，在机械手进入工艺腔室之前，该密封装置移动到最低位置，以使机械手能够进入工艺腔室中对硅片进行抓取与放置，在机械手退出工艺腔室后，使用该密封装置对工艺腔室进行及时密封。利用本发明提供的移动式密封装置对工艺腔室进行密封，能够使工艺腔室内部放置的硅片的周围微环境与外界环境做到更好的隔离，从而保证工艺腔室内部的洁净等级，使设备达到更高的工艺要求。

附图说明

图1是将移动式密封装置固定在工艺腔室面板上的示意图。

图2是本发明提供的移动式密封装置的结构图。

图3是图2所示的移动式密封装置的移动式密封板的结构图。

图4是图2所示的移动式密封装置的气缸的结构图。

图5是图2所示的移动式密封装置的连接件的结构图。

图6是不含顶盖情况下的电动执行器保护罩的结构图。

图7是图2所示的移动式密封装置的导轨滑块的结构图。

图中，1：工艺腔室；2：移动式密封装置；3：移动式密封板；301：第一孔；302：第二孔；4：气缸；401：滑块；5：连接件；501：第一通孔；502：第二通孔；6：电动执行器保护罩；601：第一短凹槽；602：第二短凹槽；603：长凹槽；7：第一限位传感器；8：第二限位传感器；9：导轨；10：导轨滑块。

具体实施方式

下面结合附图对本发明提供的移动式密封装置的具体实施方式作进一步详细说明。这些实施方式仅用于说明本发明，而并非对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。