[发明专利]金属粉末制造用等离子装置

权利要求书

1.一种金属粉末制造用等离子装置，其具备：

供给金属原料的反应容器；

等离子枪，其在与所述反应容器内的金属原料之间生成等离子，使所述金属原料蒸发而生成金属蒸气；

载气供给部，其将用于输送所述金属蒸气的载气供给至所述反应容器内；

冷却管，其将通过所述载气从所述反应容器移送的所述金属蒸气冷却，生成金属粉末；其特征在于，

所述冷却管具备将来自于所述反应容器的、通过所述载气移送的所述金属蒸气和/或金属粉末间接冷却的间接冷却区域，和接续于所述间接冷却区域的、将所述金属蒸气和/或金属粉末直接冷却的直接冷却区域，

所述间接冷却区域由内径不同的2个以上的区域构成。

2.如权利要求1所述的金属粉末制造用等离子装置，其特征在于，

所述间接冷却区域至少具备从所述反应容器移送所述金属蒸气的第一间接冷却区域和配置于该第一间接冷却区域和所述直接冷却区域之间的第二间接冷却区域，

所述第一间接冷却区域的内径比所述第二间接冷却区域的内径小。

3.如权利要求1所述的金属粉末制造用等离子装置，其特征在于，

在所述间接冷却区域的至少一部分设有传热控制部件。

4.如权利要求1~3中任一项所述的金属粉末制造用等离子装置，其特征在于，

所述间接冷却区域是以冷却用流体冷却所述冷却管的周围、且该流体不与所述金属蒸气和/或金属粉末直接接触的方式对所述金属蒸气和/或金属粉末进行冷却的区域，

所述直接冷却区域是使冷却用流体与所述金属蒸气和/或金属粉末直接接触进行冷却的区域。