[发明专利]一种无线无源电容式气压传感器

权利要求书

1.一种无线无源电容式气压传感器，其特征在于，该气压传感器包括硅衬底（1）、外延单晶硅层（2）、氧化层（3）、金属层（4）和钝化层（5）；

硅衬底（1）中设有真空封闭腔（6），位于真空封闭腔（6）正上方的硅衬底（1）上设有硅腐蚀孔，外延单晶硅层（2）连接在硅衬底（1）的顶面；外延单晶硅层（2）延伸至硅衬底（1）的硅腐蚀孔中，位于真空封闭腔（6）正上方的硅衬底（1）和外延单晶硅层（2）形成可动敏感薄膜层（7），该可动敏感薄膜层（7）作为下电容级板；氧化层（3）连接在外延单晶硅层（2）的顶面，且氧化层（3）中设有电容间隙腔（8），电容间隙腔（8）与真空封闭腔（6）相对；金属层（4）连接在氧化层（3）的上方，该金属层（4）中设有片上电感（9）；钝化层（5）覆盖在金属层（4）的外表面，钝化层（5）和金属层（4）中设有腐蚀透气孔（10），腐蚀透气孔（10）与电容间隙腔（8）连通；在金属层（4）和氧化层（3）中设有下电容极板电引出（11），下电容极板电引出（11）的顶面与金属层（4）的顶面位于同一平面，下电容极板电引出（11）的底面连接在外延单晶硅层（2）的顶面上；对与下电容极板电引出（11）底面和片上电感（9）底面相连的外延单晶硅层（2）区域进行掺杂，形成磷离子重掺杂扩散区（12）；在金属层（4）中还设有上电容极板电引出（13），上电容极板电引出（13）的底面与氧化层（3）的顶面连接。

2.按照权利要求1所述的无线无源电容式气压传感器，其特征在于，1.所述的片上电感（9）呈环形，且电容间隙腔（8）位于片上电感（9）中部下方。