[发明专利]可挠式超声波致动装置

权利要求书

1.一种可挠式超声波致动装置，其特征在于，包括：

固定元件；

压电薄膜结构，该压电薄膜结构的至少二端固定于该固定元件，该压电薄膜结构包括至少二曲率；以及

驱动单元，用以驱动该压电薄膜结构震动，以产生超声波。

2.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该压电薄膜结构包括：

第一电极层；

第一压电层；

第二电极层，该第一压电层设置于该第一电极层及该第二电极层之间；

接着层；

第三电极层，该接着层用以接着该第三电极层与该第二电极层；

第二压电层；以及

第四电极层，该第二压电层设置于该第三电极层及该第四电极层之间。

3.如权利要求2所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一压电层与该第二压电层的极化方向一致。

4.如权利要求3所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该驱动单元为交流电源，该驱动单元具有第一电极及第二电极，该第一电极层及该第四电极层电性连接至该第一电极，该第二电极层及该第三电极层电性连接至该第二电极。

5.如权利要求2所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一压电层与该第二压电层的极化方向相反。

6.如权利要求5所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该驱动单元为交流电源，该驱动单元具有第一电极及第二电极，该第一电极层及该第三电极层电性连接至该第一电极，该第二电极层及该第四电极层电性连接至该第二电极。

7.如权利要求2所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一压电层与该第二压电层的材质为聚偏二氟乙烯或其复合材料。

8.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，还包括：

防水薄膜，包覆该压电薄膜结构。

9.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该压电薄膜结构具有至少一第一弯曲段、至少一第二弯曲段及至少一第三弯曲段，该第二弯曲段设置于该第一弯曲段及该第三弯曲段之间。

10.如权利要求9所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一弯曲段对称于该第三弯曲段。

11.如权利要求9所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一弯曲段的曲率与该第三弯曲段的曲率实质上相同。

12.如权利要求11所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一弯曲段的曲率大于该第二弯曲段的曲率。

13.如权利要求11所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一弯曲段的曲率小于该第二弯曲段的曲率。

14.如权利要求9所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该第一弯曲段与该第三弯曲段的曲率中心位于该压电薄膜结构的一侧，该第二弯曲段的曲率中心位于该压电薄膜结构的另一侧。

15.如权利要求9所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该至少一第一弯曲段的数量为多个、该至少一第二弯曲段的数量为多个，该至少一第三弯曲段的数量为多个。

16.如权利要求15所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该些第一弯曲段、该些第二弯曲段及该些第三弯曲段系阵列式排列。

17.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该压电薄膜结构的厚度为10～500微米。

18.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该压电薄膜结构的高度为0.5～5毫米。

19.如权利要求1所述的可挠式超声波致动装置，其特征在于，该压电薄膜结构的宽度为2～10毫米。