[发明专利]压电振动器及其制造方法无效
| 申请号： | 201210509826.1 | 申请日： | 2012-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN103138699A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李钟泌;车尚烨 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/21 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 施娥娟;桑传标 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 振动器 及其 制造 方法 | ||
1.一种压电振动器，该压电振动器包括：
基部；
成对的臂部，该成对的臂部从所述基部彼此平行地延伸；
第一凹部，该第一凹部沿长度方向形成在所述成对的臂部的上表面中；以及
第二凹部，该第二凹部沿长度方向形成在所述成对的臂部的下表面中，
其中，在所述成对的臂部的沿长度-厚度方向的横截面中，所述第一凹部和所述第二凹部偏移设置，并且沿所述成对的臂部的宽度方向以预定的间隔互相隔开。
2.根据权利要求1所述的压电振动器，其中，所述第一凹部设置为多个或所述第二凹部设置为多个。
3.根据权利要求1所述的压电振动器，其中，所述第二凹部成对地形成在所述成对的臂部的各个下表面中，以使所述第二凹部彼此平行。
4.根据权利要求1所述的压电振动器，其中，所述基部和所述成对的臂部的外表面上形成有电极。
5.一种制造压电振动器的方法，该制造压电振动器的方法包括：
制备基底；
形成基部和成对的臂部，该成对的臂部从所述基部彼此平行地延伸；
在所述成对的臂部的上表面中沿长度方向形成第一凹部；以及
在所述成对的臂部的下表面中沿长度方向形成第二凹部，
其中，在所述成对的臂部的沿长度-厚度方向的横截面中，所述第一凹部和所述第二凹部偏移设置，并且沿所述成对的臂部的宽度方向以预定的间隔互相隔开。
6.根据权利要求5所述的制造压电振动器的方法，其中，所述第一凹部设置为多个或所述第二凹部设置为多个。
7.根据权利要求5所述的制造压电振动器的方法，其中，所述第二凹部成对地形成在所述成对的臂部的各个下表面中，以使所述第二凹部彼此平行。
8.根据权利要求5所述的制造压电振动器的方法，其中，该制造压电振动器的方法还包括：在所述基部和所述成对的臂部的外表面上形成电极材料。
9.根据权利要求5所述的制造压电振动器的方法，其中，通过使用等离子态的气体蚀刻形成所述成对的臂部以及所述第一凹部和所述第二凹部。
10.根据权利要求5所述的制造压电振动器的方法，其中，同时进行形成所述成对的臂部的操作和形成所述第一凹部和所述第二凹部的操作。
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