[发明专利]平面并联式三自由度精密定位工作台

权利要求书

1.一种平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，包括：正三角形结构的基座（1），分别对应的设置在基座（1）的三个等边内侧的结构完全相同的三个柔性支链（4），设置在三个柔性支链（4）内侧且位于基座（1）的中心的动平台（5），所述的基座（1）、三个柔性支链（4）和动平台（5）为一体形成，其中，所述的三个柔性支链（4）分别与基座（1）为柔性连接，且三个柔性支链（4）的位移输入端分别对应基座（1）的三个夹角，所述的动平台（5）与所述的三个柔性支链（4）为柔性连接，所述的基座（1）的每一个夹角内侧与所对应的一个柔性支链（4）之间形成有凹槽（6），所述的凹槽（6）内水平设置有用于驱动柔性支链（4）的压电陶瓷驱动器（2），所述的压电陶瓷驱动器（2）的一端与所述的柔性支链（4）的位移输入端之间为赫兹接触，所述的压电陶瓷驱动器（2）的另一端通过螺栓（7）固定连接在基座（1）上。

2.根据权利要求1所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的压电陶瓷驱动器（2）与所述的柔性支链（4）相对应的一端连接有球形接头（3），所述的压电陶瓷驱动器（2）是通过所述的球形接头（3）与所述的柔性支链（4）的位移输入端形成赫兹接触。

3.根据权利要求1或2所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的柔性支链（4）包括有：SR位移放大机构（41），通过第一圆形弹性铰链（43）连接在SR位移放大机构（41）的位移输入端的复合平行板移动副（42），通过第二圆形弹性铰链（44）连接在SR位移放大机构（41）的位移输出端的连杆（45），其中，所述的复合平行板移动副（42）的位移输入端与所述的压电陶瓷驱动器（2）端部的球形接头（3）之间为赫兹接触，并且，所述的复合平行板移动副（42）为H形结构，所述H形结构的上、下两端分别构成柔性板簧（47），所述的该柔性板簧（47）与所述的基座（1）一体连接，所述的连杆（45）的另一端通过第三圆形弹性铰链（46）与所述的基座（1）一体连接，SR位移放大机构（41）的固定端通过第四圆形弹性铰链（48）与所述的基座（1）一体连接。

4.根据权利要求3所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的复合平行板移动副（42）的轴线和所述的SR位移放大机构（41）的位移输入点处的第一圆形弹性铰链的轴线共线。

5.根据权利要求3所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的第一圆形弹性铰链（43）的轴线与所述的第二圆形弹性铰链（44）的轴线相垂直。

6.根据权利要求3所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的第二圆形弹性铰链（44）的轴线和所述的第三圆形弹性铰链（46）的轴线与所述的连杆（45）的轴线共线。

7.根据权利要求1所述的平面并联式三自由度精密定位工作台，其特征在于，所述的三个压电陶瓷驱动器（2）通过SR位移放大机构并联驱动所述的动平台（5）。