[发明专利]氩气的纯化方法及纯化装置

权利要求书

1.氩气的纯化方法，所述氩气是至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气，其特征在于，

使所述氩气中的烃的一部分和油分吸附于活性炭，

接着，判断所述氩气中的氧量是否高于与所述氩气中的全部氢、一氧化碳和烃反应所需要的设定量，

所述氩气中的氧量为所述设定量以下的情况下，添加氧使其量高于所述设定量，

接着，通过使用铑作为第一反应用催化剂使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应，以氧残留的状态生成二氧化碳和水，

接着，以所述氩气中的一氧化碳量高于与该残留的全部氧反应所需要的设定量的条件添加一氧化碳，

接着，通过使用钌、铑或它们的混合物作为第二反应用催化剂使所述氩气中的氧和一氧化碳反应，以一氧化碳残留的状态生成二氧化碳，

接着，通过变压吸附法使所述氩气中的至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮吸附于吸附剂。

2.如权利要求1所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在使用了所述第一反应用催化剂的反应和使用了所述第二反应用催化剂的反应之间，通过使用了脱水装置的脱水处理使所述氩气中的水分含有率降低。

3.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，使用活性氧化铝和X型沸石作为用于所述变压吸附法的所述吸附剂。

4.如权利要求3所述的氩气的纯化方法，其特征在于，将所述活性氧化铝与所述X型沸石配置成层状，使所述活性氧化铝与所述X型沸石的重量比为5/95～30/70。

5.如权利要求1或2所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在利用所述变压吸附法的吸附后，通过-10℃～-50℃的变温吸附法使所述氩气中的氮吸附于吸附剂。

6.如权利要求3所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在利用所述变压吸附法的吸附后，通过-10℃～-50℃的变温吸附法使所述氩气中的氮吸附于吸附剂。

7.如权利要求4所述的氩气的纯化方法，其特征在于，在利用所述变压吸附法的吸附后，通过-10℃～-50℃的变温吸附法使所述氩气中的氮吸附于吸附剂。

8.氩气的纯化装置，所述装置是纯化至少含有氧、氢、一氧化碳、烃、油分和氮作为杂质的氩气的装置，其特征在于，具有：

导入所述氩气的活性炭吸附塔、

导入从所述活性炭吸附塔流出的氩气的第一反应器、

能够在导入所述第一反应器的氩气中添加氧的氧供给器，

导入从所述第一反应器流出的氩气的第二反应器、

能够在导入所述第二反应器的氩气中添加一氧化碳的一氧化碳供给器、以及

导入从所述第二反应器流出的氩气的吸附装置，

所述活性炭吸附塔中收纳所述吸附氩气中的烃的一部分和油分的活性炭，

所述第一反应器中收纳铑作为使所述氩气中的一氧化碳、氢和烃与氧反应的第一反应用催化剂，

所述第二反应器中收纳钌、铑或它们的混合物作为使所述氩气中的氧和一氧化碳反应的第二反应用催化剂，

所述吸附装置具有采用变压吸附法吸附所述氩气中的至少一氧化碳、二氧化碳、水和氮的PSA单元。

9.如权利要求8所述的氩气的纯化装置，其特征在于，在所述第一反应器和所述第二反应器之间设置降低从所述第一反应器流出的氩气中的水分含有率的脱水装置。

10.如权利要求8或9所述的氩气的纯化装置，其特征在于，所述吸附装置具有TSA单元，所述TSA单元用于通过-10℃～-50℃的变温吸附法来吸附从所述PSA单元流出的所述氩气中的氮。