[发明专利]超声扫描显微镜智能扫描的实现方法无效
申请号: | 201210515358.9 | 申请日: | 2012-12-05 |
公开(公告)号: | CN103018332A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 连军莉;魏鹏;罗杨;付纯鹤 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
主分类号: | G01N29/06 | 分类号: | G01N29/06;G01N29/26 |
代理公司: | 北京中建联合知识产权代理事务所 11004 | 代理人: | 朱丽岩;刘湘舟 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 超声 扫描 显微镜 智能 实现 方法 | ||
1.一种超声扫描显微镜智能扫描的实现方法,其特征在于,通过按扫描顺序学习上次扫描时的各种扫描参数并生成一包含有所述各种扫描参数的扫描文件,在下次扫描同一器件或同一批器件时,直接利用所述扫描文件进行扫描。
2.根据权利要求1所述的超声扫描显微镜智能扫描的实现方法,其特征在于,所述的扫描文件为计算机可识别的二进制文件。
3.根据权利要求1或2所述的超声扫描显微镜智能扫描的实现方法,其特征在于,所述扫描文件包含有上次扫描时的扫描图像。
4.根据权利要求3所述的超声扫描显微镜智能扫描的实现方法,其特征在于,所述扫描文件包含有上次扫描时的扫描波形。
5.根据权利要求1或4所述的超声扫描显微镜智能扫描的实现方法,其特征在于,所述各种扫描参数包括超声波接收发射器的增益、阻尼、电压、低通频率以及高通频率;A/D数据采集卡的采样频率,扫描起始位置,焦距位置,扫描尺寸,扫描分辨率,扫描速度以及数据门的名称、起始时间、长度、电压与颜色。
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