[发明专利]微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构有效
| 申请号： | 201210516099.1 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102980506A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 唐洁影;蒋明霞 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B7/02 | 分类号： | G01B7/02;G01N27/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 211189 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 悬臂梁 接触 粘附 临界 长度 测量 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、n个具有相同尺寸和材料的十字梁，用于静电激励的下拉电极（6）、呈阶梯形的第一衬底接触电极（9）、n个衬底接触电极和促使粘附分离的拉动电极（7），n为大于等于2的整数；
每个十字梁均由横梁和与横梁垂直交叉连接的扭转支撑梁组成，所有横梁相互平行，且处于悬空状态；扭转支撑梁通过锚区连接在衬底（1）上，且所有扭转支撑梁位于同一直线上；
下拉电极（6）、第一衬底接触电极（9）、n个衬底接触电极和拉动电极（7）连接在衬底（1）顶面，且拉动电极（7）位于n个十字梁一测的下方，下拉电极（6）和第一衬底接触电极（9）位于n个十字梁另一侧的下方，且第一衬底接触电极（9）位于十字梁端部下方，n个十字梁下方对应的第一衬底接触电极（9）的长度呈阶梯变化，每个十字梁的下方对应设置一个衬底接触电极，且各衬底接触电极靠近第一衬底接触电极（9）。
2.按照权利要求1所述的微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，其特征在于：所述的n为4—6。
3.按照权利要求1或2所述的微悬臂梁接触粘附的临界接触长度和粘附力的测量结构，其特征在于：所述的拉动电极（7）位于十字梁一侧末端的下方。
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