[发明专利]VAD制备多孔芯棒的设备以及方法

权利要求书

1.一种VAD制备多孔芯棒的设备，包括设置在反应容器两侧的激光器以及接收器，所述反应容器上设有反应容器前门以及用于透射激光的前后玻璃窗；其特征在于：所述反应容器前门与前玻璃窗分别设置于反应容器同一侧的上部和下部；所述接收器所处位置与前玻璃窗相对应，且接收器的上顶面低于反应容器前门的下沿位置。

2.如权利要求1所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述反应容器的下方设置有塔架，该塔架用于固定反应容器、激光器和接收器，所述激光器和接收器通过设有调整机构的连接件与塔架固定。

3.如权利要求1所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述连接件中的调整机构，由水平调整机构和竖直调整机构构成，水平调整机构用于调整接收器水平面内的位移，竖直调整机构用于调整接收器竖直面内的位移。

4.如权利要求3所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述水平调整机构与竖直调整机构上分别设有锁紧装置，锁紧装置用于固定接收器的调整位置。

5.如权利要求1所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述接收器的后端设有接收器保护板，该接收器保护板固定在所述塔架上。

6.如权利要求5所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述接收器保护板设有上盖，该上盖位于接收器的上顶面与反应容器前门的下沿之间的位置。

7.如权利要求1所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述前后玻璃窗的透射面积大于或等于调整机构的调整范围。

8.如权利要求1所述的VAD制备多孔芯棒的设备，其特征在于：所述反应容器设置有前玻璃窗的位置，相较于设置有反应容器前门的位置形成内凹结构。

9.一种VAD制备多孔芯棒的方法，其具体步骤是：

S1、开启激光器和接收器，发射激光并感应激光；

S2、反应容器中的种棒移动至激光位置，使种棒的下端点与激光相切；

S3、向反应容器中添加气态原料并点火，关闭反应容器前门，开始火焰水解反应；

S4、经过汽相沉积制备出多孔芯棒，熄火结束制备。