[发明专利]一种MEMS扫描探头

权利要求书

1. 一种MEMS扫描探头，包括基座（1）、光纤（2）、透镜（3）、微镜底座（7）、以及设置在微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4），其中，基座（1）的下表面沿其轴向方向设置有两端开口的光学定位槽（6）；光纤（2）设置在光学定位槽（6）内；通过设置在光学定位槽（4）内的透镜定位槽（9），将透镜（3）设置在光纤（2）的一端；其特征在于：还包括柔性双金属结构（8），微镜底座（7）的一边通过柔性双金属结构（8）与基座（1）上靠近透镜（3）的端部相连接，其中，柔性双金属结构（8）的两端分别连接基座（1）端部的上表面和微镜底座（7）的上表面；柔性双金属结构（8）使得设置于微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4）处于自倾斜状态，与光学定位槽（6）实现光学对准，且微镜底座（7）下表面上与基座（1）最接近的边和基座（1）的端部对设置于微镜底座（7）下表面的MEMS微镜（4）的自倾斜状态进行了限位。

2. 根据权利要求1所述一种MEMS扫描探头，其特征在于：所述基座（1）的上表面设置有焊盘（5）。

3. 根据权利要求1或2所述一种MEMS扫描探头，其特征在于：还包括设置于MEMS微镜（4）与微镜底座（7）之间的柔性电路板，MEMS微镜（4）的控制引线与柔性电路板相连接。

4. 根据权利要求3所述一种MEMS扫描探头，其特征在于：所述MEMS微镜（4）的控制引线通过柔性电路板连接至所述焊盘（5）上。

5. 根据权利要求1所述一种MEMS扫描探头，其特征在于：所述柔性双金属结构（8）包括热膨胀系数不同的两种材料，柔性双金属结构（8）弯曲的内表面材料的热膨胀系数小于外表面材料的热膨胀系数。

6. 根据权利要求1或5所述一种MEMS扫描探头，其特征在于：所述柔性双金属结构（8）弯曲的内表面为二氧化硅、氮化硅或多晶硅；外表面为铝。