[发明专利]用于微盲孔填充的电镀铜溶液有效
| 申请号： | 201210521115.6 | 申请日： | 2012-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN102995076A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 王增林;路旭斌 | 申请（专利权）人： | 陕西师范大学 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38;C25D7/04;C23C18/38 |
| 代理公司： | 西安永生专利代理有限责任公司 61201 | 代理人： | 申忠才 |
| 地址： | 710062 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 微盲孔 填充 镀铜 溶液 | ||
1.一种用于微盲孔填充的电镀铜溶液，其特征在于1L该电镀铜溶液由下述质量配比的原料组成：
上述抑制剂为嵌段聚醚、聚二醇醚共聚物、胺类嵌型聚醚或聚乙烯吡咯烷酮；
上述的加速剂是聚二硫二丙烷磺酸钠或3-巯基-1-丙烷磺酸钠；
上述的整平剂为健那绿、二嗪黑或阿尔新蓝。
2.根据权利要求1所述的微盲孔填充的电镀铜溶液，其特征在于1L该电镀铜溶液由下述质量配比的原料组成：
3.根据权利要求1所述的用于微孔填充的电镀铜溶液，其特征在于1L该电镀铜溶液由下述质量配比的原料组成：
4.根据权利要求1所述的用于微孔填充的化学镀铜溶液，其特征在于：所述聚二醇醚共聚物是数均分子量为2000的泊洛沙姆181、数均分子量为2500的泊洛沙姆182、数均分子量为2900的泊洛沙姆184、数均分子量为8350的泊洛沙姆186中的任意一种。
5.根据权利要求1所述的用于微孔填充的化学镀铜溶液，其特征在于：所述嵌段聚醚是数均分子量为1000的普朗尼克PE3100、数均分子量为1750的普朗尼克PE4300、数均分子量为2000的普朗尼克PE6100、数均分子量为2450的普朗尼克PE6200、数均分子量为2900的普朗尼克PE6400、数均分子量为8000的普朗尼克PE6800、数均分子量为2125的普朗尼克RPE 1740、数均分子量为3080的普朗尼克RPE 2035中的任意一种。
6.根据权利要求1所述的用于微孔填充的化学镀铜溶液，其特征在于：所述胺类嵌型聚醚为数均分子量为501～1000的脱却尼克301、数均分子量为1001～1500的脱却尼克401、数均分子量为1501～2000的脱却尼克501、数均分子量为2001～2500的脱却尼克601、数均分子量为2501～3000的脱却尼克701、数均分子量为3001～3600的脱却尼克801、数均分子量为3601～4500的脱却尼克901中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的用于微孔填充的化学镀铜溶液，其特征在于：所述聚乙烯吡咯烷酮是PVP K30、PVP K16～18、PVP K23～27中的任意一种。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西师范大学，未经陕西师范大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210521115.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
