[发明专利]连续激光电化学金属微成形加工方法及系统

权利要求书

1.连续激光电化学金属微成形加工方法，金属材料的工件固定于电化学刻蚀的电解液中，工件为阳极，其特征在于：

连续激光聚焦于工件表面，光班对准待加工点或沿待加工线扫描，所述连续激光聚焦于工件表面某个定点达到的最高温度小于工件金属材料的熔点，高于电解液的沸点。

2.根据权利要求1所述的连续激光电化学金属微成形加工方法设计的溶液中金属材料的连续激光扫描微成形加工系统，包括盛放电解液的反应池（7）、阴极（5）和稳压电源（15），工件（6）浸在反应池（7）的电解液中、固定于反应池（7）底，阴极（5）固定在工件（6）上方，阴极（5）和工件（6）分别与稳压电源（15）的2个输出端相接，工件（6）为阳极；其特征在于：

本系统还包括激光控制单元（1）、连续激光器（2）、反射镜（3）、聚焦透镜（4）和工作台（8），激光控制单元（1）连接控制连续激光器（2），连续激光器（2）输出的激光束经反射镜（3）、聚焦透镜（4）将激光聚焦于工件（6）表面；反应池（7）固定于工作台（8）上，所述工作台（8）为可在平面的X轴和Y轴平动的工作台。

3.根据权利要求2所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

还配有微量泵（14）和电解液池（13），微量泵（14）进水口接入电解液池（13）内，出水口接入反应池（7）。

4.根据权利要求3所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

还有一根回流管（12），一端接于电解液池（13），另一端接入反应池（7），回流管（12）在反应池（7）的管口高度为反应池（7）的最高水位。

5.根据权利要求2所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

计算机（11）连接控制的X轴伺服电机（10）和Y轴伺服电机（9），X轴伺服电机（10）和Y轴伺服电机（9）驱动连接所述工作台（8）、进行的二维平动。

6.根据权利要求2所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

所述阴极（5）和工件（6）连接示波器（16）。

7.根据权利要求2所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

所述反应池（7）中电解液液面距离工件（6）的上表面3～5mm。

8.根据权利要求2所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

所述阴极（5）固定于工件（6）、并浸在电解液中，与工件（6）上表面距离为1～3mm。

9.根据权利要求7所述的连续激光电化学金属微成形加工系统，其特征在于：

所述阴极（5）为铂丝。