[发明专利]一种用于激光干涉仪快速校准调节的工具

说明书

技术领域

本发明涉及到一种用于激光干涉仪快速校准调节技术，特别涉及到一种用于激光干涉仪快速校准调节的工具。

背景技术

激光干涉仪作为数控机床精度的常用检测工具，能对数控机床进行线性测量、直线度测量、平面度测量、角度测量、回转轴分度精度等进行测量，能够将影响机床精度的原因列出来，为调整和维修机床提供了充分的数据支持和指导，大大缩短维修时间，提高维修的效率。采用激光干涉仪对数控机床进行精度检测的第一步，就是将激光器、干涉仪和反射镜等检测用元器件固定在被检测机床的相应位置，并对激光干涉仪光束进行校准调节。即激光器的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。一束光（称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。然后，两束光都被反射回分光镜，在调整过程中要确保干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直，而且反射回来的光线都彼此保持准直，否则，就会出现精度降低并无法检测。目前，线性干涉镜和线性反射镜都是通过支承杆固定在磁性表座上，再通过磁性表座固定在机床相应位置。在检测过程中，为保证干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直，只有在磁性表座的底面从前后和左右两个方向加装厚度不等的垫片，调整磁性表座的倾角，以确保干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直。这种在磁性表座底部加垫片进行调节的方式存在以下问题

（1）调节范围小，通过加装垫片调节的镜磁性表底座角度小于±10°；

（2）调节误差大，调整的角度取决与垫片的厚度，不能实现精确调整；

（3）干扰大，在一个方向上加垫片会对另一个已经调好的方向产生影响；

（4）稳定性差，由于磁性表座底部加装垫片，磁性表座吸不紧，机床在运动过程中干涉镜和反射镜容易晃动，导致无法测量。

显然，现有技术激光干涉仪校准调节工具存在着调节范围小、精度低和稳定差，且费时费力等问题。

发明内容              

为解决现有技术激光干涉仪校准调节工具存在的调节范围小、精度低和稳定差，且费时费力等问题，本发明提出一种用于激光干涉仪快速校准调节的工具。本发明用于激光干涉仪快速校准调节的工具包括磁性底座、调节机构和支承杆；磁性底座设置有磁性固定装置和容纳调节机构的空间；调节机构包括二套蜗杆涡轮组件，蜗杆Ⅰ安装在磁性底座中部，涡轮Ⅰ安装在磁性底座上部，在涡轮Ⅰ的上部设置有套装蜗杆Ⅱ的U形支座和套装涡轮Ⅱ的支撑板；支承杆固定安装在涡轮Ⅱ上部。

本发明用于激光干涉仪快速校准调节的工具的有益技术效果是扩大了调节范围，精度高，稳定性好，且省时省力。

附图说明

附图1是采用磁性表座固定检测用元器件并对激光干涉仪光束进行校准调节的示意图；

附图2是本发明用于激光干涉仪快速校准调节的工具的结构三维示意图。

下面结合附图和具体实施方式对本发明用于激光干涉仪快速校准调节的工具作进一步的说明。

具体实施方式

附图1是采用磁性表座固定检测用元器件并对激光干涉仪光束进行校准调节的示意图，图中，1是激光器，2是干涉仪，3是反射镜，4是磁性表座。由图可知，现有技术采用磁性表座将线性干涉镜和线性反射镜固定在机床相应位置，在检测过程中，为保证干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直，只有在磁性表座的底面从前后和左右两个方向加装厚度不等的垫片，调整磁性表座的倾角，以确保干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直。显然，现有技术激光干涉仪校准调节工具存在着调节范围小、精度低和稳定差，且费时费力等问题。