[发明专利]线性致动器以及电子部件安装装置

权利要求书

1.一种线性致动器，其特征在于，具有：

中空的外筒；

多个中空线圈，它们放置在所述外筒的内部，沿所述外筒的轴向相邻；

电动机轴，其向所述中空线圈的内部插入，沿所述轴向排列多个磁体；

2个连结部件，它们分别与所述电动机轴的端部连结；

2根引导轴，它们固定在所述外筒上，向所述2个连结部件中分别插入且沿轴向延伸，在隔着所述中空线圈单元而相对的位置上平行配置；

输出轴，其与所述连结部件连结，利用θ方向旋转机构以使该输出轴沿θ方向自由旋转的状态对该输出轴进行支撑；以及

控制部，其选择性地使所述中空线圈励磁，使所述中空线圈和所述电动机轴沿所述轴向相对地移动，使所述外筒和所述输出轴沿所述轴向相对地移动，

所述电动机轴在所述轴向上，在与所述中空线圈相比更长的范围内配置所述磁体。

2.根据权利要求1所述的线性致动器，其特征在于，

具有固定在所述连结部件上的标尺、以及固定在所述外筒上的检测器，还具有对所述电动机轴和所述中空线圈之间的相对位置进行检测的相对位置检测机构。

3.根据权利要求1或2所述的线性致动器，其特征在于，

还具有轴承，其配置在所述连结部件和所述引导轴之间的连结部上，以可以使所述引导轴相对于所述连结部件移动的状态支撑所述引导轴。

4.一种电子部件安装装置，其向基板搭载电子部件，

其特征在于，具有：

电子部件供给装置，其对向所述基板上搭载的所述电子部件进行供给；

线性致动器；

搭载头，其具有至少1组与所述线性致动器的输出轴连结的吸附嘴，利用所述线性致动器，使所述吸附嘴沿与所述基板的表面正交的方向移动，使所述吸附嘴向对从所述电子部件供给装置供给的电子部件进行吸附的吸附区域移动；以及

XY移动机构，其使所述搭载头沿与所述基板的表面平行的方向移动，

所述线性致动器具有：

中空的外筒；

多个中空线圈，它们放置在所述外筒的内部，沿所述外筒的轴向相邻；

电动机轴，其向所述中空线圈的内部插入，沿所述轴向排列多个磁体；

2个连结部件，它们分别与所述电动机轴的端部连结；

2根引导轴，它们固定在所述外筒上，向所述2个连结部件中分别插入且沿轴向延伸，在隔着所述中空线圈单元而相对的位置上平行配置；

输出轴，其与所述连结部件连结，利用θ方向旋转机构以使该输出轴沿θ方向自由旋转的状态对该输出轴进行支撑；以及

控制部，其选择性地使所述中空线圈励磁，使所述中空线圈和所述电动机轴沿所述轴向相对地移动，使所述外筒和所述输出轴沿所述轴向相对地移动，

所述电动机轴在所述轴向上，在与所述中空线圈相比更长的范围内配置所述磁体。

5.根据权利要求4所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述线性致动器具有固定在所述连结部件上的标尺、以及固定在所述外筒上的检测器，还具有对所述电动机轴和所述中空线圈之间的相对位置进行检测的相对位置检测机构。

6.根据权利要求4或5所述的电子部件安装装置，其特征在于，

所述线性致动器还具有轴承，其配置在所述连结部件和所述引导轴之间的连结部上，以可以使所述引导轴相对于所述连结部件移动的状态支撑所述引导轴。