[发明专利]红外探测器的测量装置和测量方法有效
申请号: | 201210525867.X | 申请日: | 2012-12-10 |
公开(公告)号: | CN103017912A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 熊敏;周桃飞;邢利敏;董旭;张志强;张宝顺 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | G01J5/10 | 分类号: | G01J5/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 红外探测器 测量 装置 测量方法 | ||
1.一种红外探测器的测量装置,其特征在于,包括:
红外光谱仪,提供单色的红外光;
低温装置,具有红外窗口,该红外窗口接收所述红外光;
设于所述低温装置内的待测探测器和参考探测器;
移动平台,带动所述待测探测器和参考探测器移动;
前置放大器,分别连接于所述待测探测器和参考探测器,所述前置放大器将探测信号放大后输出至所述红外光谱仪。
2.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述红外光谱仪提供聚焦的红外光。
3.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,还包括非球面镜,所述红外光谱仪提供平行的红外光,所述非球面镜将所述平行的红外光聚焦。
4.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述低温装置为制冷机或金属杜瓦瓶。
5.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述参考探测器为HgCdTe探测器或InGaAs探测器。
6.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述红外窗口为ZnSe窗口或BaF2窗口。
7.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述移动平台为三维平台,所述待测探测器和参考探测器固定于所述低温装置内,所述低温装置固定于所述移动平台上。
8.根据权利要求1所述的红外探测器的测量装置,其特征在于,所述待测探测器和参考探测器所在的直线与所述红外光入射方向垂直。
9.权利要求1至8任一所述红外探测器的测量方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1、定义坐标系,记录待测探测器相对于参考探测器的偏移量;
S2、调整移动平台,通过红外光谱仪观察参考探测器的光强,记录光强最大时的位置;
S3、通过待测探测器相对于参考探测器的偏移量,相应地调整移动平台,使得红外光照射在待测探测器上,实现对待探测器的测量。
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