[发明专利]一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置无效
申请号: | 201210527824.5 | 申请日: | 2012-12-10 |
公开(公告)号: | CN103045996A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 袁桃利;牟强 | 申请(专利权)人: | 陕西科技大学 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陆万寿 |
地址: | 710021 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 有机 电致发光 器件 蒸镀用掩 模板 调节 装置 | ||
1.一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置,其特征在于,包括带有调节装置(2)的框架(1),所述框架(1)两侧的内壁上设置有导轨(5),所述导轨(5)中安装有掩模板板体(7),调节装置(2)和掩模板板体(7)相连接。
2.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置,其特征在于,所述调节装置(2)采用精度为0.01mm的精密螺旋调节装置。
3.根据权利要求1所述的一种有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置,其特征在于,所述导轨(5)中还设置有滑轮(6),滑轮(6)置于掩模板板体(7)的下方。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置,其特征在于,所述调节装置(2)的端部设置有用于固定掩模板板体(7)的夹具(8)。
5.根据权利要求1所述的有机电致发光器件蒸镀用掩模板调节装置,其特征在于:所述掩膜板板体(7)高度与框架(1)平齐。
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