[发明专利]一种电化学沉积设备及利用其进行沉积的方法

权利要求书

1.一种电化学沉积设备，包括电化学沉积槽以及设置于沉积槽内用于药液流动的至少一组管道，其特征在于，所述每组管道包括中心线相互平行的吸管和喷管，所述吸管和喷管上开有孔洞。

2.根据权利要求1所述的电化学沉积设备，其特征在于，每组管道中所述吸管为一根、所述喷管为一根。

3.根据权利要求2所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述吸管与喷管上的孔洞为一条或多条狭窄的长条孔。

4.根据权利要求2所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述吸管的中心线与喷管的中心线之间的距离小于两管直径总和的四倍。

5.根据权利要求2所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述吸管直径为5mm～80mm；所述喷管直径为5mm～80mm。

6.根据权利要求2所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述吸管横切面中心点到孔洞的方向与吸管横切面中心点到工件表面并垂直于工件表面的方向有0～75度的角度；所述喷管横切面中心点到孔洞的方向与喷管横切面中心点到吸管横切面中心点的方向有15～180度的角度。

7.根据权利要求2至6项中任意一项所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述喷管横切面中心点到所述吸管横切面中心点的方向指向工件表面，并垂直于工件表面。

8.根据权利要求7所述的电化学沉积设备，其特征在于，所述管道为两排，一排管道用于为工件的正面进行电化学沉积，另一排管道用于为工件的背面电化学沉积。

9.一种利用权利要求1-8中任意一项所述的电化学沉积设备进行沉积的方法，其特征在于，包括以下步骤：

（1）利用吸管吸取电化学沉积槽内的药液, 配合喷管喷出补进电化学沉积槽内的药液来带动药液在工件表面的流动，使电化学沉积槽内的药液在工件表面相对于吸管的方向有均匀的药液流动速度；

（2）使工件相对吸管运动，其移动方向为平行于工件表面并垂直于吸管中心线方向；

（3）由喷管向电化学沉积槽内补充药液。

10.根据权利要求9所述的电化学沉积设备的设计方法，其特征在于，所述吸管与喷管为PP管或PVC管或涂有聚四氟乙烯的金属管。