[发明专利]刀片架

说明书

本发明专利申请是申请号为200680026761.8（国际申请号为PCT/JP2006/324058）、申请日为2006年12月01日、发明名称为“划线装置、划线方法及刀片架”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及用于在脆性材料基板上形成划线线条的划线装置、划线方法及其所使用的刀片架，特别涉及在保持划线线条形成用的滚轮刀片（划线滚轮）的刀片架上具有特征的划线装置、划线方法及刀片架。

背景技术

以往，在液晶显示面板或液晶投影器基板等平板显示器等中，在制造过程中，素玻璃基板在粘合后被截断，形成规定大小的单个的面板。在截断该素玻璃基板等脆性材料基板时，有划线工序和断开工序，在划线工序中使用划线装置。

图1是表示现有的划线装置的一例的概略立体图。该划线装置100中的移动台101沿一对导轨102a、102b在y轴方向移动自由地被保持。滚珠丝杠103与移动台101螺纹接合。滚珠丝杠103由马达104驱动而旋转，使移动台101沿导轨102a、102b在y轴方向移动。在移动台101的上面设有马达105。马达105使工作台106在xy平面内旋转，按规定角度定位。脆性材料基板107放置在该工作台106上，由没有图示的真空吸引机构等保持。在划线装置的上部设有拍摄脆性材料基板107的对位标记的两台CCD照相机108。

在划线装置100中，按跨过移动台101和其上部的工作台106的方式，沿x轴方向利用支柱111a、111b架设桥构件110。划线头112能沿设在桥构件110上的导向件113在x轴方向移动。马达114是使划线头112沿x轴方向移动的驱动源。在划线头112的前端部，经由架接头120而安装有刀片架130。

下面对安装在划线头112上的现有的架接头和刀片架进行说明。如图2所示的分解立体图那样，架接头120在上部具有轴承121，下方具有构成为L字形的架部122。在架部122的侧方设有定位用的销123。刀片架130如图3、图4所示是可转动地保持圆板状的滚轮刀片（以下简称为刀片）131的部件。刀片131利用销（未作图示）旋转自由地保持在下端中央的前端部，销由挡块132防止脱落。刀片131一边与脆性材料基板压接一边滚动，形成划线线条。该刀片架130通过使其侧面与定位销123接触，定位在架接头120的架部122。而且，刀片架130由固定螺栓133固定在架部122上。划线头112可升降移动地保持其下部的架接头120以及刀片架130。在划线头112上设有在其内部可以进行这样的升降动作的升降部，例如使用气压控制的气缸或由线性马达等驱动的电动升降部等。该升降部一边以适当的载荷使刀片131压接在脆性材料基板的表面上，一边使刀片131滚动，形成划线线条。

其次，对在作为划线装置组装后，对划线动作所需的电以及机械方面的调整结束了的划线装置的划线动作进行说明。图5A、图5B是表示该处理顺序的流程图。在划线开始前，如图6所示，首先把脆性材料基板107放置在工作台106上，在定位后进行吸引固定（步骤S0）。之后，为了确认定位状况，使用设在划线装置上方的两台CCD照相机108，分别放大摄像基板上的左右两处的定位用的对位标记63a及63b，进行图像处理（步骤S1）。由于摄像后的放大图像在各自对应的监视器上显示，所以，操作人员可以一边确认其摄制的图像一边进行精确的定位作业。划线装置100通过图像处理，检测基板107从连接两台CCD照相机的线、即工作台106的基准线A倾斜多少角度（θ）放置，或者基板107从作为工作台106的基准的原点位置偏离多少放置（步骤S2）。根据其检测结果，划线装置100进入步骤S3，通过马达105的转动进行修正，使工作台106的倾斜角θ变成0。从工作台106的原点位置的偏离可以进行以下修正。关于y轴方向，使工作台106在y轴方向上移动与上述偏离量的y轴方向成分相当的量，另外，关于x轴方向使划线头112的位置移动与上述偏离量的x轴成分相当的量。另外，作为其它的修正方法，还有下述的方法。即，划线装置把上述偏离量分成x轴成分和y轴成分，通过修正划线动作开始位置的位置数据的各轴成分的值，使划线开始位置移动。若这样作也可以得到相同的结果。

在更换划线对象的基板时，每次必定需要在划线开始前实行上述偏离量的修正作业。只要修正作业结束，就从所希望的位置开始划线动作。划线装置100使刀片架下降，使刀片一边与基板接触一边滚动，进行通常划线（步骤S5～S7）。之后，在该划线线条的形成之后，划线装置100使刀片架上升（步骤S8），接着，使基板相对移动（步骤S9），返回至S5。