[发明专利]灯的不点亮检测装置、光照射装置以及灯的不点亮检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及灯的不点亮检测装置以及方法。更为具体来说，涉及能检测并联连接的多盏灯之中的1盏不点亮的不点亮检测装置以及方法。

背景技术

半导体和平板显示器的制造工序中，为了进行加工部件的表面清洁化和表面改性等，广泛实施使用紫外线灯的UV臭氧(UV Ozone)清洗。在这种处理的过程中因为某些原因灯不点亮时，希望能够迅速检测出不点亮，从而进行灯更换等适当的处置。

专利文献1中，记载了设置有紫外受激准分子光的检测单元和显示灯的点亮状态的单元的电介质放电灯装置。另外，专利文献2中记载了：用光电变换元件检测来自受激准分子灯的放射光，根据该光电变换元件的输出和规定的基准值的比较来判断灯的点亮或熄灭的氙受激准分子灯的点亮检测装置。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】JP特开平7-220688号公报

【专利文献2】JP特开2005-227275号公报

但是，专利文献1和2记载的这种现有的装置中存在的问题是：对于一盏灯来说需要一个昂贵的检测器，若光照射装置比较大型而灯的盏数较多，则成本很高。

另一方面，若仅仅是减少检测器的个数，则难以可靠地检测出不点亮。要是用1个检测器检测多盏灯的光量，即使灯熄灭，检测出的光量也不为0，仅仅是减少。而且，在检测出的光量减少的情况下，还需要准确地判断其原因不是随着时间劣化等或灯输出设定降低，而是灯的不点亮。

发明内容

本发明正是考虑到这一点而作出的，其目的在于提供一种用更少个数的检测器来检测出灯的不点亮的不点亮检测装置以及不点亮检测方法。并且，其目的还在于提供一种具备这种不点亮检测装置的光照射装置。

本发明的灯的不点亮检测装置，具有：对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的1个光量传感器；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。

另外，本发明的灯的不点亮检测装置，具有：对由并联连接的多盏灯组成的灯群设置的1个光量传感器；朝向上述多盏灯各自的照射面，以比上述多盏灯的盏数少的个数配置的UV-可见光变换过滤器及光纤；根据上述光量传感器的输出求出规定时间的传感器累计值的累计部；存储上述传感器累计值的存储部；以及判断灯的不点亮的判断部，上述判断部，根据上述传感器累计值与基准值的比较、以及上述传感器累计值与上述存储部中存储的过去的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。

在此，所谓灯群，是指由1个光量传感器统一感知光量的多盏灯。在存在并联连接的2盏以上的灯的情况下，可将这2盏以上的灯全体作为1个灯群来设置1个光量传感器，在存在并联连接的4盏以上的灯的情况下，可将该4盏以上的灯全体分为分别由多盏灯组成的多个灯群，对各灯群各设置1个光量传感器。无论哪种情况都包含在本发明中。另外，所谓传感器累计值，是指根据需要将光量传感器的输出进行数字变换等得到的值，相加多次而得到。

这样，由于对多盏灯使用1个光量传感器，因此能够降低装置整体的成本。而且，通过将传感器累计值与基准值以及过去的传感器累计值进行比较，能够以实质上没有问题的精度，对多盏灯之中的1盏灯的不点亮进行检测。

优选，根据上述灯的使用初期求出的上述传感器累计值来设定上述基准值。另外，优选，根据上述灯的输出来设定上述基准值。由此，在对传感器累计值与基准值进行比较时，能以更好的精度进行不点亮的判断。

另外，上述不点亮检测装置，可在并联连接的4盏以上的灯形成分别由多盏灯组成的多个灯群的情况下，对各灯群各设置1个光量传感器。根据该结构，在上述各发明之中、并联连接的多盏(4盏以上)的灯全体被分为多个灯群的情况下，也能获得与上述各发明相同的效果。

另外，优选，在形成多个灯群的情况下，上述判断部，还根据上述传感器累计值与其他灯群的传感器累计值的比较，判断灯的不点亮。由此，能够以更好的精度进行不点亮的判断。

优选，上述UV-可见光变换过滤器及光纤，相对于将构成上述灯群的相邻的一对灯各自的中心点彼此连结的平行线，在与上述灯的照射方向垂直且以该中心点为起点的垂直线间配置1个。