[发明专利]转印装置及转印方法

权利要求书

1.一种转印装置，将作为被转印物的图案或薄膜转印到基板上，其特征在于，

具有：

保持单元，其在使担载体和所述基板彼此分离并且使所述担载体的一个表面与所述基板相向的状态下，保持所述担载体和所述基板，在所述担载体的所述一个表面上担载应转印到所述基板上的所述被转印物及规定的定位标记，

拍摄单元，其从所述担载体的与所述一个表面相反的表面一侧，经由所述担载体对所述定位标记进行拍摄，

图像处理单元，其通过图像处理来从所述拍摄单元所拍摄的图像中检测出所述定位标记，

定位单元，其基于检测出的所述定位标记来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置；

所述拍摄单元具有用于对焦到所述定位标记上的焦点调整机构，该焦点调整机构基于由所述图像处理单元实施了对比度增强处理的所述定位标记的图像来进行对焦。

2.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，所述图像处理单元对所述定位标记的图像进行的所述对比度增强处理，包括提取与所述定位标记的形状相对应的空间频率成分的滤波处理。

3.如权利要求2所述的转印装置，其特征在于，所述图像处理单元通过对所述滤波处理后的所述定位标记的图像数据乘以大于1的系数来增强对比度。

4.如权利要求1至3中任一项所述的转印装置，其特征在于，

所述焦点调整机构分多个阶段变更设定所述拍摄单元的焦点位置，并且在每个阶段由所述拍摄单元拍摄所述定位标记，所述图像处理单元对各拍摄结果进行所述对比度增强处理；

所述焦点调整机构将所述拍摄单元的焦点位置调整到与增强了对比度的图像中的特定图像相对应的位置上，该特定图像是指，包含与所述定位标记的形状相对应的空间频率成分最多的图像。

5.如权利要求1至3中任一项所述的转印装置，其特征在于，

所述保持单元将所述担载体和所述基板保持为接近且相向，

在由所述焦点调整机构将所述拍摄单元的焦点对焦到所述定位标记上的状态下，所述拍摄单元对担载于所述担载体上的所述定位标记和形成在所述基板上的基板侧定位标记进行拍摄；

所述图像处理单元检测出所述担载体的所述定位标记和所述基板侧定位标记之间的相对位置，

所述定位单元基于所述图像处理单元的检测结果，调整所述基板和所述担载体之间的相对位置。

6.一种转印方法，将作为被转印物的图案或薄膜转印到基板上，其特征在于，

该转印方法包括：

配置工序，在使担载体和所述基板彼此分离的状态下，且使所述担载体的一个表面与所述基板相向，来配置所述担载体和所述基板，在所述担载体的所述一个表面上担载所述被转印物，

对焦工序，利用在所述担载体的与所述一个表面相反的表面一侧配置的拍摄单元，来经由所述担载体对担载于所述担载体的所述一个表面上的定位标记进行拍摄，并基于所述拍摄单元的拍摄结果来将所述拍摄单元的焦点对焦到所述定位标记上，

定位工序，在将所述拍摄单元的焦点对焦到所述定位标记上的状态下，拍摄所述定位标记和形成在所述基板上的基板侧定位标记，并基于所述拍摄单元的拍摄结果来调整所述基板和所述担载体之间的相对位置，

转印工序，使调整了相对位置的所述基板和所述担载体相互紧贴，由此将所述被转印物从所述担载体转印到所述基板上；

在所述对焦工序中，对拍摄所述定位标记而得到的图像进行对比度增强处理，并从该处理后的图像中检测出所述定位标记。

7.如权利要求6所述的转印方法，其特征在于，在所述对焦工序中，进行包括增强与所述定位标记的形状相对应的空间频率成分的处理的所述对比度增强处理。

8.如权利要求6所述的转印方法，其特征在于，在所述对焦工序中，进行包括提取与所述定位标记的形状相对应的空间频率成分的滤波处理的所述对比度增强处理。

9.如权利要求8所述的转印方法，其特征在于，在所述对焦工序中，通过对所述滤波处理后的所述定位标记的图像数据乘以大于1的系数来增强对比度。