[发明专利]一种切割硅锭的方法及装置有效
申请号: | 201210530204.7 | 申请日: | 2012-12-11 |
公开(公告)号: | CN103009489A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 武鹏;游达;胡亚兰;郑玉芹 | 申请(专利权)人: | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 221004 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 切割 方法 装置 | ||
1.一种切割硅锭的方法,其特征在于,包括以下步骤:
在布置有切割线网的两个导轮之间设置装有砂浆的砂浆槽;
利用所述切割线网对硅锭进行切片,切片时使切割线网浸没在砂浆槽的砂浆中,并且使砂浆槽中的砂浆量保持动态平衡。
2.根据权利要求1所述的切割硅锭的方法,其特征在于,砂浆槽的上沿与切割线网平齐,切片时利用硅锭产生的线弓将线网压入砂浆槽中。
3.根据权利要求1所述的切割硅锭的方法,其特征在于,砂浆槽可以上下移动,切片时使砂浆槽上升,穿过线网,从而使切割线网的切割面浸没在砂浆槽的砂浆中。
4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的切割硅锭的方法,其特征在于,切片时,砂浆从线网上方进入砂浆槽,从砂浆槽的侧面或底部排出;或者切片时,砂浆从砂浆槽的侧面底部或底面进入砂浆槽,从砂浆槽的侧面上部排出。
5.一种切割硅锭的装置,其特征在于,包括两个导轮、布置在所述两个导轮上的切割线网及位于所述两个导轮之间的砂浆槽,所述砂浆槽上设有泄砂孔。
6.根据权利要求5所述的切割硅锭的装置,其特征在于,所述砂浆槽的上沿与所述切割线网平齐。
7.根据权利要求5所述的切割硅锭的装置,其特征在于,所述砂浆槽的下方设置有升降装置。
8.根据权利要求5至7中任一权利要求所述的切割硅锭的装置,其特征在于,所述泄砂孔设置在所述砂浆槽的底面或侧面底部。
9.根据权利要求8所述的切割硅锭的装置,其特征在于,所述砂浆槽的槽底设有斜坡。
10.根据权利要求8所述的切割硅锭的装置,其特征在于,所述砂浆槽的侧面上部还设有进料孔。
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