[发明专利]一种高精度微流红外气体传感器及其测量方法

权利要求书

1.一种高精度微流红外气体传感器，包括红外光源系统、测量气室、红外半导体探测器、窄带滤光片、微流红外探测器、信号处理及输出系统，红外光源系统、微流探测器分别位于测量气室的两端，窄带滤光片位于测量气室与微流探测器之间，其特征在于测量气室上与气体入口、气体出口相对的一侧设有一通道，红外半导体探测器安装在此通道内，微流探测器、红外半导体探测器分别与信号处理及输出系统的信号前置放大电路输入端相连。

2.根据权利要求1所述的一种高精度微流红外气体传感器，其特征在于：所述的红外半导体探测器为热释电探测器或热电堆探测器。

3.一种高精度微流红外气体传感器的测量方法，其特征在于包括以下步骤：

a.将红外半导体探测器作为该高精度微流红外气体传感器的参考通道，其信号强度记为参考信号R，将微流红外探测器作为该高精度微流红外气体传感器的测量通道，其信号强度记为测量信号T，将高精度微流红外气体传感器老化20天，其参考信号记为参考信号基准值R₀；

b. 运用修正公式：信号修正值=测量信号值×参考信号基准值/参考信号值，将信号修正值记为T’，即T’=T×R₀/R；

c.信号处理及输出系统根据信号与气体浓度的换算公式进行处理运算后输出测量气体的浓度值。