[发明专利]四氧化三铁与钛酸铋掺镧复合磁电薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种四氧化三铁与钛酸铋掺镧复合磁电薄膜的制备方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

步骤1：Bi_3.25La_0.75Ti₃O₁₂(BLT)靶材的制备

a).配料：反应物原料是Bi₂O₃,La₂O₃，TiO₂；三种原材料按(13.5-14.5):3:24的摩尔比混合，

b).将混合的反应物原料放入玛瑙罐中加入丙酮放入球磨罐中，加入玛瑙球，密封固定于球磨机上，球磨时间在15h以上，研磨时间越长，BLT粉末越细，效果越好；

c).用粉末压片机将研磨好的反应物原料压片成形，直径10-20mm；

d).预烧：将压片成形的块体放到箱式炉中，升温至750-850℃,保温4-6h,然后再快速升温至850-950℃，保温3-5h，自然冷却降至室温，使之初步成相；

e).烧结：再将经过步骤d）处理的靶材在1000-1100℃,保温1.5-2.5h，再缓慢降至室温；

步骤2：Fe₂O₃靶材的制备

将晶胞结构为α的Fe₂O₃粉末研磨，再用粉末压片机压片，压成直径为10-20mm，然后烧结而成，烧结温度为800-1000℃，保温16-24h；

步骤3：制备Fe₃O₄/BLT磁电复合薄膜材料

采用脉冲激光溅射沉积系统在Pt/Ti/SiO₂/Si衬底上制备出Fe₃O₄/BLT多铁性磁电复合薄膜。