[发明专利]一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构

权利要求书

1.一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于它包括籽晶杆旋转系统、提拉系统和悬臂称重支撑系统，悬臂称重支撑系统设置在籽晶杆旋转系统和提拉系统之间，悬臂称重支撑系统包括称重悬臂和圆柱导轨，称重悬臂设置在籽晶杆旋转系统的右侧，籽晶杆旋转系统包括旋转系统、旋转系统伺服电机及减速器、籽晶杆中心位置调整系统、波纹管和设置在波纹管内的水冷籽晶杆，旋转系统伺服电机及减速器设置在旋转系统上方，波纹管设置在旋转系统下方，籽晶杆中心位置调整系统固定在称重悬臂上，圆柱导轨设置在提拉系统的左侧，提拉系统包括提拉系统伺服电机及减速器、电磁离合器、丝杆和手动提拉传动组件，电磁离合器设置在提拉系统伺服电机及减速器的下方，丝杆设置在电磁离合器的下方，丝杆的下端连接有手动提拉传动组件。

2.根据权利要求1所述的一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于所述的称重悬臂设置在旋转系统的右侧并与旋转系统活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于所述的圆柱导轨设置在丝杆的左侧，称重悬臂在提拉系统的丝杆的带动下可以沿着圆柱导轨上下移动。

4.根据权利要求3所述的一种大尺寸蓝宝石单晶生长炉的旋转提拉结构，其特征在于所述的称重悬臂和旋转系统上设置有通过旋转系统的垂直压力变化来测定晶体生长过程中重量变化的称重组件。