[发明专利]一种LED衬底材料生长的控制系统

权利要求书

1.一种LED衬底材料生长的控制系统，其特征在于，包括：主系统、籽晶旋转分系统、籽晶升降分系统、电源控制分系统、晶体成像分系统以及晶体称重分系统，其中，所述主系统包括：可编程逻辑控制器、开关量输入模块、开关量输出模块、模数转换模块、数模转换模块、串口通讯模块、第一计数模块以及第二计数模块；

所述籽晶旋转分系统通过所述第一计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第一计数模块用于检测所述籽晶旋转分系统中的旋转驱动器输出的脉冲个数；

所述籽晶升降分系统通过所述第二计数模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述第二计数模块用于检测所述籽晶升降分系统中的升降驱动器输出的脉冲个数；

所述电源控制分系统通过所述串口通讯模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述串口通讯模块用于与所述电源控制分系统中的电源进行数字通讯，控制和检测所述电源的状态；

所述晶体成像分系统与所述可编程逻辑控制器相连，用于显示晶体的生长图像；

所述晶体称重分系统通过所述模数转换模块与所述可编程逻辑控制器相连，所述模数转换模块用于将所述晶体称重分系统输出的模拟量转化为0-4000或0-16000之间的数字量；

所述开关量输入模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于采集外界输入的开关量；

所述开关量输出模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于输出控制的开关量；

所述数模转换模块与所述可编程逻辑控制器相连，用于将数字量转化成控制外接设备的模拟量。

2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述可编程逻辑控制器为三菱Q06DUEHCPU型PLC。

3.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述晶体称重分系统包括：第一称重传感器、第二称重传感器、第一放大模块以及第二放大模块；

所述第一称重传感器将输出的电流信号通过所述第一放大模块进行放大，并传输至所述模数转换模块；

所述第二称重传感器将输出的电流信号通过所述第二放大模块进行放大，并传输至所述模数转换模块；

相应的，所述可编程逻辑控制器接收所述模数转换模块输出的数字信号，并进行差分处理。

4.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，还包括红外测温仪，

所述红外测温仪用于检测晶体生长炉的温度，并将检测到的温度发送至所述可编辑逻辑控制器。

5.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述籽晶升降分系统包括：伺服电机、伺服驱动器以及电磁换挡器，

所述电磁换挡器根据接收到的不同外界控制信号，触发所述伺服驱动器控制所述伺服电机处于不同的档位。

6.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，

所述开关量输入模块为QX42；

所述开关量输出模块为QY42P；

所述模数转换模块为Q68AD或Q64AD；

所述数模转换模块为Q64DA；

所述串口通讯模块为QJ71C24；

所述第一计数模块以及第二计数模块为QD62D。