[发明专利]用于递送汽化源材料的装置

权利要求书

1.一种用于递送汽化源材料的装置，所述装置包括：

容器，具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域；

多个通道，其中所述多个通道包括入口和出口，所述入口被设置用于将载气引入所述容器中，所述出口被设置用于从所述容器递送气体；

管，从所述多个通道之一延伸至末端；

一个或多个支撑物，连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间，其中所述一个或多个支撑物具有表面，所述表面被设置为支撑源材料并具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路，其中所述一个或多个支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物具有围绕所述表面的周边的至少一部分而延伸的一个或多个侧壁，使得所述一个或多个侧壁从一个支撑物的表面延伸至上方支撑物的表面，且其中所述一个或多个支撑物的一个或多个侧壁与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物中的至少一个位于所述容器的内部区域的底表面上。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述一个或多个支撑物中的至少一个位于所述容器的内部区域的底表面上。

5.根据权利要求4所述的装置，其中多个支撑物叠加地设置在所述容器的内部区域内。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物经O形环连接至所述管。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述容器包括被设置为密封所述容器的盖。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述容器为圆筒形式。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物由一种或多种金属构成。

10.根据权利要求9所述的装置，其中所述一种或多种金属包括以下中的一种或多种：不锈钢、铝、铝合金、铜、铜合金、银、银合金、铅、镀镍、石墨、陶瓷材料、哈斯特洛伊耐蚀镍基合金、因科镍合金、以及蒙乃尔铜-镍合金。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物由一种或多种聚合物构成。

12.根据权利要求1所述的装置，其中所述一个或多个支撑物的表面是基本上平的。

13.根据权利要求1所述的装置，其中所述多个通路布置为规则图案。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述多个通路布置为一个或多个同心圆。

15.一种用于递送汽化源材料的装置，所述装置包括：

容器，具有由一个或多个容器侧壁限定的内部区域；

多个通道，其中所述多个通道包括入口和出口，所述入口被设置用于将载气引入所述容器中，所述出口被设置用于从所述容器递送气体；

管，从所述多个通道之一延伸至末端；

一个或多个金属支撑物，连接至所述管并位于所述多个通道的入口和出口之间，其中所述一个或多个金属支撑物具有表面，所述表面具有周边以及多个延伸通过所述表面的通路，且其中所述一个或多个金属支撑物与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触，且其中所述一个或多个金属支撑物中的至少一个位于所述容器的内部区域的底表面上。

16.根据权利要求15所述的装置，其中所述一个或多个金属支撑物具有围绕所述表面的周边的至少一部分而延伸的一个或多个侧壁，使得所述一个或多个侧壁从一个金属支撑物的表面延伸至上方金属支撑物的表面，其中所述一个或多个金属支撑物的一个或多个侧壁与所述内部区域的一个或多个容器侧壁热接触。