[发明专利]吸引夹持器及移载装置

权利要求书

1.一种吸引夹持器，吸引、并以非接触状态保持薄的平板状的工件，其特征在于，具备：在内部形成有压缩气体的流路的平板状的主体；作为上述主体的与上述工件相对的一侧的面的相对面；为了喷出从上述流路提供的压缩气体而开口在上述相对面上的多个喷出口；以及，在上述喷出口的周围开口在上述相对面上、并且在厚度方向上贯穿上述主体地形成的多个排气孔；

各喷出口被形成为圆柱状的空间，并且具备3个探到该空间的内部而开口的喷嘴流路，各喷嘴流路朝沿着上述圆柱状的空间的内壁的方向喷出压缩气体。

2.如权利要求1所述的吸引夹持器，其特征在于，上述3个喷嘴流路的上述开口在上述喷出口的圆周方向上均等间隔地形成。

3.如权利要求1或2所述的吸引夹持器，其特征在于，上述喷嘴流路的长度方向与上述相对面平行地形成。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的吸引夹持器，其特征在于，最靠近上述喷出口的排气孔在以该喷出口为中心的同心圆上至少形成有3个。

5.如权利要求4所述的吸引夹持器，其特征在于，最靠近上述喷出口的排气孔在上述同心圆上均等间隔地形成。

6.如权利要求1～5中的任一项所述的吸引夹持器，其特征在于，上述喷嘴流路被形成为：使任意的喷出口的内部空间的该喷出口的围绕轴线处的压缩空气的流动方向与形成在最靠近该喷出口位置的其他喷出口成反方向。

7.一种移载装置，其特征在于，具备：权利要求1～6中的任一项所述的吸引夹持器；以及，能够使上述吸引夹持器在规定的范围内三维移动的并联机构。