[发明专利]制造热致变色基板的方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2011年12月12日提交的韩国专利申请10-2011-0133152的优先权，该申请的全部内容为所有目的通过引用合并于此。

技术领域

本申请涉及制造热致变色基板的方法，更具体地，涉及制造热致变色基板的方法，通过所述方法可提高所述热致变色基板的透射率。

背景技术

热致变色是指小于和大于特定温度（即转变温度(Tc)），过渡金属的氧化物或硫化物的晶体结构发生变化，使得其物理性质（电传导率和红外线(IR)透射率)忽然改变的现象。

当玻璃被具有这样的热致变色能力的薄膜涂布时，可生产这样的“智能窗户”，在或大于预定的温度其透射可见光但阻挡近红外线和红外线，以防止室内温度的上升。智能窗户车辆到建筑物中的应用在节能方面可非常有效。呈现热致变色的材料包含几种过渡金属的氧化物，其中，二氧化钒(VO₂)由于其转变温度为68℃，相对接近使实际应用变得可能的温度，所以正在被研究。

氧化钒，例如VO₂，以多种晶相的形态存在，例如V₂O₃、V₃O₅、V₄O₇、V₆O₁₁、V₅O₉、V₆O₁₃、V₄O₉、V₃O₇、V₂O₅和VO₂。热致变色特性只在VO₂晶相中出现。

因此，使用将玻璃基板加热到高温后然后用氧化钒涂布所述玻璃基板的方法，用氧化钒涂布玻璃基板接着后退火的方法等将以各种晶相，例如V₂O₃、V₃O₅、V₄O₇、V₅O₉、V₆O₁₁、V₆O₁₃、V₄O₉、V₃O₇、V₂O₅和VO₂，存在的氧化钒转变成VO₂的晶相。

然而，通过上述方法制造的所述热致变色薄膜呈现金属特性和因此产生的可见光的低透射率的缺陷。

为了提高可见光的透射率，可使用减小热致变色薄膜的厚度的方法。然而，这引起热致变色薄膜的相变特性变得不均匀的问题。

因此，使用通过形成除了所述热致变色薄膜还包括低折射率和/或高折射率薄膜的多层膜结构以提高可见光的透射率的方法。

在相关技术的形成多层膜结构的方法中，通过形成高或低折射率薄膜作为下层，用VO₂薄膜涂布高或低折射率薄膜，然后用高或低折射率薄膜涂布所述VO₂薄膜，产生所述多层膜结构。

然而，当通过该方法制造所述多层膜结构时，在形成多层膜结构的过程中，VO₂薄膜被氧化。然后，VO₂相变成氧化钒的不同晶相，例如V₂O₃或V₂O₅，这是有问题的。

具体地，当用VO₂薄膜涂布做为下层而形成的高或低折射率薄膜时，在高温气氛中氧气扩散入下面的薄膜中，其中所述VO₂薄膜作为涂层而形成。因此，VO₂相变成氧化钒的不同晶相。

此外，当用高或低折射率薄膜涂布所述VO₂薄膜时，所述VO₂薄膜在反应溅射时暴露于氧气中，其中所述高或低折射率薄膜形成为涂层。然后，氧气扩散入VO₂薄膜，因此VO₂相变成氧化钒的不同晶相。

因此，当通过现有技术的方法形成用于提高热致变色玻璃的透射率的多层膜结构时，在形成多层膜结构的过程中氧气扩散入VO₂薄膜，因此VO₂经历相变，因而丧失其热致变色特性。